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用心做产品,满意在服务,产品质量有保障半导体化工领域专业实验设备供应商:迈可诺是一家富有创新精神的高科技公司,专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商,迈可诺从事开发、设计、生产并营销质量可靠的、安全易用的技术产品及优质专业的服务,帮助我们的客户和合作伙伴取得成功。我们成功的基础是帮助客户做出更好的选择和决定,尊重他们的决定,并协助他们实现高效率的科研成果,追求丰富有意义的生活。
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用心做产品,满意在服务,产品质量有保障技术文章·TECHNICAL ARTICLES
用心做产品,满意在服务,产品质量有保障7-17
旋涂仪卡盘选择:PP还是PTFE?卡盘材质的选择取决于具体应用场景和所接触的化学试剂。聚丙烯(PP)卡盘特性材料特性:热塑性聚合物,具有优良的耐化学性和机械耐久性应用场景:常用于实验室玻璃器皿和化学处理容器优势:抗物理冲击和反复使用,对多数化学试剂呈惰性,适合常规化学工艺需求聚四氟乙烯(PTFE)卡盘特性材料特性:合成氟聚合物,具有:较强的化学耐受性、不粘特性、高温稳定性(-200°C至260°C)应用场景:高温/低温环境(如烘箱或低温实验),半导体制造、医疗器械(导管、牙科...
7-17
旋涂仪的关键特性旋涂仪的转速特性至关重要,它能表征并改变您制备的薄膜性能。转速范围转速范围指旋涂仪可实现的旋转速度区间,通常以每分钟转数(RPM)表示。RPM设定决定了基片在旋涂过程中的旋转速度:更高RPM值通常产生更薄涂层更低RPM值则形成更厚涂层通过调节RPM,可精确控制涂层厚度。转速还会影响溶剂蒸发速度——较高RPM能加速旋涂过程中的溶剂挥发。RPM对涂层均匀性同样关键。离心力能使材料均匀铺展在基片上,减少厚度不均现象。针对特定涂布溶液和基片尺寸优化RPM,可提升涂层均...
7-15
WS1000湿法刻蚀机是一种常见的半导体制造设备,广泛应用于集成电路(IC)的制造过程中,尤其是在微电子领域中用于芯片的生产与加工。湿法刻蚀技术利用化学反应来去除材料表面不需要的部分,起到精细加工和图形转移的作用,确保芯片表面结构的精确度和功能的正常实现。属于湿法刻蚀设备的典型代表。它的工作原理主要是通过化学溶液和气体的组合,将硅片(或其他半导体材料)上的图案刻蚀下来,去除多余的材料,形成微小的图形结构。这一过程在半导体制造中非常重要,因为它帮助形成不同的金属层和绝缘层,使得...
7-10
薄膜沉积|涂层方法比较薄膜可以通过多种涂层方法制备,包括蒸发技术和溶液处理法。溶液处理技术将溶液均匀涂覆在基底上,干燥后形成薄膜。均匀可靠的薄膜沉积对于太阳能电池、有机发光二极管(OLED)和其他半导体器件的开发与制造至关重要。由于可用的薄膜沉积方法多种多样,某些工艺更适合特定应用。溶液处理法因其可扩展性潜力而特别具有吸引力。选择适合的涂层方法从小规模研究到大规模商业化生产,您需要综合考虑小规模和大规模应用来比较每种薄膜涂层方法。这有助于您为当前需求做出正确选择,同时了解未来...
7-10
狭缝涂布故障排除狭缝缺陷(SlotDieDefects)狭缝涂布是一个复杂的过程,获得稳定的薄膜涂层需要深入了解沉积技术背后的物理原理。可能发生两种类型的缺陷:由于涂层珠弯月面的不稳定性而导致的缺陷,此时涂布过程离开了稳定涂布窗口。改变涂布参数将导致返回稳定涂布区域。或者可以说是外部因素导致的缺陷,这些因素与流体的输送、基材的移动或溶液的粘弹性性质有关。这些缺陷通常需要更改涂布系统或流体才能克服。以下部分将介绍这两类缺陷,并展示常见问题、这些缺陷的特征、它们产生的原因以及可用...
7-4
狭缝涂布流动分析了解狭缝涂布背后的基础理论对于理解操作参数和狭缝几何形状如何相互作用以形成稳定涂层至关重要。高质量涂层只能在特定的涂布窗口内实现,离开此稳定涂布窗口将导致缺陷形成——最终,薄膜将无法涂布。通过了解涂层薄膜中缺陷的根源,可以知道需要改变哪些加工参数和狭缝几何形状以返回稳定涂布区域。在本节中,我们将讨论:改进分布的分流板设计的理论基础溶液如何通过受限制的通道流动产生大的压力梯度涂层弯月面的形状和位置如何受到影响溶液分布(SolutionDistribution)溶...