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  • MSP100/MSP300/MSP500显微分光光度计DUV-VIS-NIR
    显微分光光度计(Micro-Photometer,MicroSpectrophotometer)用于表征在微米区域内的薄膜,厚涂层的光学特性。显微分光光度计也称为微反射计,显微光谱仪,显微光度计,显微光谱光度计等。用户可实时视频,强大的数字编辑,反射测量工具享受显微光谱仪(MSP系列)的数字成像功能,透射,吸收光谱,数据采集仅需几毫秒。
  • SE200BM,SE300BM和SE500BM光谱椭偏仪带自动监测
    椭圆偏振光谱(SE)是一种成熟的光学技术,用于以非破坏性和非接触方式表征块状材料,薄膜,涂层,表面层和嵌入层。对于常规和晶圆厂加工质量控制,必须有一个自动盒式装卸机。为此,我们开发了一种低成本解决方案,可将晶圆尺寸从2“扩展到8”(台式),将塔式尺寸扩展到12“。用户甚至可以为每个插槽定义配方,从而为整个盒式磁带测量定义配方。
  • SE-SOLAR光伏光谱椭偏仪
    椭圆偏振光谱仪SE-Solar专为光伏(PV)应用而设计。它可以配置为覆盖DUV到NIR范围,可以使用手动测角仪以5度间隔改变入射角,也可以配置为自动测角仪,分辨率为0.001度。基于阵列的检测设置可为用户提供快速测量,每个数据只需几秒钟。当需要映射或实时原位测量时,这是所有SE模型中的zui佳选择。
  • SE-MSP光谱椭偏仪显微分光光度计
    对于某些应用(例如MEMS或半导体产品晶圆上的功能),希望有一个小的探测点。将显微分光光度计与椭圆偏振光度计集成在一起后,工具的功能将大大扩展。可通过椭圆偏振光度法在超薄膜上工作,并且还具有通过微反射法与椭圆度计和微分光光度计相结合的独特配置的小面积微反射法。
  • TFProbe IRSE红外光谱椭偏仪IRSE
    红外光谱椭圆仪(IRSE)可以表征材料的结构(厚度,界面,表面粗糙度,污染),光学(光学常数),电(导电性)以及化学信息。
  • SE200/SE300/SE350/SE500光谱椭偏仪 DUV-VIS-NIR
    光谱椭偏仪可配置从DUV到NIR的波长范围。DUV范围可用于测量超薄膜,如纳米厚度范围。比如硅晶片上的原生氧化物,其通常仅为约1至2nm厚。当用户需要测量许多材料的带隙时,深紫外光谱椭偏仪也是必不可少的。可见或近红外范围用于测量相对厚或非常厚的涂层。

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