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光谱椭偏仪带自动监测

简要描述:椭圆偏振光谱(SE)是一种成熟的光学技术,用于以非破坏性和非接触方式表征块状材料,薄膜,涂层,表面层和嵌入层。对于常规和晶圆厂加工质量控制,必须有一个自动盒式装卸机。为此,我们开发了一种低成本解决方案,可将晶圆尺寸从2“扩展到8"(台式),将塔式尺寸扩展到12“。用户甚至可以为每个插槽定义配方,从而为整个盒式磁带测量定义配方。

  • 产品型号:SE200BM,SE300BM和SE500BM
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2020-01-08
  • 访  问  量:344

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详细介绍

光谱椭偏仪带自动监测

椭圆偏振光谱(SE)是一种成熟的光学技术,用于以非破坏性和非接触方式表征块状材料,薄膜,涂层,表面层和嵌入层。对于常规和晶圆厂加工质量控制,必须有一个自动盒式装卸机。为此,我们开发了一种低成本解决方案,可将晶圆尺寸从2“扩展到8”(台式),将塔式尺寸扩展到12“。用户甚至可以为每个插槽定义配方,从而为整个盒式磁带测量定义配方。

 

应用范围:

半导体制造(PR,氧化物,氮化物..

液晶显示器(ITOPR,液晶盒间隙…..

光学涂料,TiO2SiO2Ta2O5..

半导体化合物

MEMS / MOEMS中的功能膜

非晶,纳米和晶体硅

光伏薄膜,CdTeCdSCIGSAZOCZTS .....

 

特征:

水平样品放置

价格合理,成本低廉,设计紧凑

易于与基于Windows的软件一起使用;高级用户的科学模式,日常操作员模式

可变入射角,用户可定义分辨率

全面的光学常数数据库和模型配方

先进的TFProbe软件允许用户定义具有NK表,色散或EMA混合物/复合材料的层以及索引等级以及表面/界面粗糙度...

可通过各种选件和附件进行升级和重新配置

晶圆厚度:200µm1mm(弓形<1.5mm,无翘曲)

前载纸盒

带有传感器的高速电梯

包括盒式磁带映射器(检测空插槽和交叉开槽的晶圆)

包含台载传感器

包含用于平板或槽口的预对准器

EMO紧急关机开关

中心触点末端执行器与椭圆偏振仪工具上的晶片支架匹配

兼容洁净室

易于使用的可调节水平脚,并牢固桥接至椭圆仪框架

紧凑的设计,所有电子设备内置在装载机中

通用电源输入

通过USB与计算机通信,与Ellipsometer共享一台计算机和显示器

升级的TFProbe SW具有集成的晶圆处理功能,易于操作

特殊设计的带有真空吸盘的新型晶圆支架,可将晶圆固定在适当位置

 

系统配置:

根据不同的应用,光谱椭偏仪可以配置SE200BMSE300BMSE500BM或其他型号。

 

总重量:300

尺寸:60英寸(长)x 35英寸(长)x 35英寸(高)

电源:通用输入100-240 VAC6A50-60 H

真空源:小70 kPa21 Hg),带有1/4英寸的供气管

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