详细介绍
显微分光光度计DUV-VIS-NIR
型号:MSP100/MSP300/MSP400/MSP450/MSP500
显微分光光度计(Micro-Photometer,Micro Spectrophotometer)用于表征在微米区域内的薄膜,厚涂层的光学特性。显微分光光度计也称为微反射计,显微光谱仪,显微光度计,显微光谱光度计等。用户可实时视频,强大的数字编辑,反射测量工具享受显微光谱仪(MSP系列)的数字成像功能,透射,吸收光谱,数据采集仅需几毫秒。TFProbe软件允许用户设置加热阶段或冷却阶段以实时进行动力学研究,以了解光学性质的变化,例如反射率,透射率,涂层厚度,折射率(光学常数)等。在具有电动XY载物台或Rho-Theta载物台的各种显微分光光度计型号中,还提供自动映射功能,以及电动聚焦功能。波长范围通常是用户要考虑的重要因素。此显微分光光度计涵盖从深紫外线(DUV)到近红外(NIR)范围。应该考虑哪个范围取决于几个因素,例如薄膜或厚涂层的厚度范围是多少,反射率或透射率光谱的典型波长范围是什么等等。显微分光光度计已用于各个领域,例如纳米晶圆厂,法医,医学,MEMS,MEOMS,生物,化学等。
我们提供了三种分光光度计的标准配置。MSP100覆盖250至1000nm(DUV-Vis)。系统将附带一个DUV-Vis全范围物镜。MSP300的波长范围为400至1000nm,用于可见反射或透射光谱测量。MSP300适用于厚膜厚度测量。MSP500涵盖从DUV到NIR的全范围(250-1700nm)。可以自定义其他波长范围或功能以满足您的应用。
应用范围:
半导体制造(PR,氧化物,氮化物..)
液晶显示器(ITO,PR,液晶盒间隙…..)
法医,生物膜和材料
油墨,矿物学,颜料,碳粉
药品,医疗器械
光学涂料,TiO2,SiO2,Ta2O5…..
半导体化合物
MEMS / MOEMS中的功能膜
非晶,纳米和晶体硅
PET上的硬涂层
特征:
*光学器件和坚固的设计可实现较长的正常运行时间和好的系统性能
基于阵列的探测器系统可确保快速测量
价格合理,便携式且占地面积小的桌面设计
在微米尺寸区域内多可测量5层膜的厚度和折射率
允许以毫秒为单位获取反射,透射和吸收光谱
能够用于实时光谱,厚度,折射率监测
系统附带全面的光学常数数据库和库
*软件允许用户为每个单独的胶片使用NK表,色散或合成模型(EMA)
集成的视觉,光谱,模拟,膜厚测量系统
适用于许多不同类型的基板,具有不同的厚度和尺寸
深紫外线可以测量超薄膜的厚度及其带隙
2D和3D输出图形用于映射功能和用户友好的数据管理界面
*成像软件可进行尺寸测量,例如角度,距离,面积,颗粒计数等
提供多种选项以满足特殊应用
系统配置:
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