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光谱椭偏仪显微分光光度计

简要描述:对于某些应用(例如MEMS或半导体产品晶圆上的功能),希望有一个小的探测点。将显微分光光度计与椭圆偏振光度计集成在一起后,工具的功能将大大扩展。可通过椭圆偏振光度法在超薄膜上工作,并且还具有通过微反射法与椭圆度计和微分光光度计相结合的*配置的小面积微反射法。

  • 产品型号:SE-MSP
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2020-01-08
  • 访  问  量:441

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详细介绍

光谱椭偏仪显微分光光度计

型号:SE-MSP

可通过椭圆偏振光度法在超薄膜上工作,并且还具有通过微反射法与椭圆度计和微分光光度计相结合的*配置的小面积微反射法。TFProbe 3.3版本软件将处理测量和分析。

 

对于某些应用(例如MEMS或半导体产品晶圆上的功能),希望有一个小的探测点。将显微分光光度计与椭圆偏振光度计集成在一起后,工具的功能将大大扩展。SE-MSP型是为此目的而设计的。MSP在反射法模式下工作,并以法向入射角进行测量,这是对非法向入射角SE设置的补充。SEMSP的波长范围可以根据应用需求进行不同配置。所有选项都是可选的。

 

应用范围:

•半导体制造(PR,氧化物,氮化物..

•液晶显示器(ITOPR,液晶盒间隙…..

•法医,生物膜和材料

•油墨,矿物学,颜料,碳粉

•药品,医疗器械

•光学涂料,TiO2SiO2Ta2O5..

•半导体化合物

MEMS / MOEMS中的功能膜

•非晶,纳米和晶体硅

 

特征:

•易于使用,基于Window的软件进行操作

•先进的光学设计可实现*系统性能

•使用SExxxBA选项以0.001度的分辨率自动更改入射角

•高功率光源,适用于宽带应用

•基于阵列的探测器系统可确保快速测量

•测量多层膜的厚度和折射率,允许用户设计无限层的模型

•系统附带全面的光学常数数据库

••TFProbe 3.3软件允许用户为每膜使用NK表,色散或有效介质近似值(EMA

•三种不同的用户级别控制:工程师模式,系统服务模式和简易用户模式

•灵活的工程师模式,适用于各种配方设置和光学模型测试

•强大的一键式按钮解决方案,可进行快速和常规的测量

•可配置的测量参数,操作简便

•全自动系统校准和初始化

•直接从样品信号获得精确的样品比对接口,无需外部光学器件

•精确的高度和倾斜度调整

•适用于许多不同类型,厚度不同的基材

•各种选件,附件可用于特殊配置,例如测绘台,波长扩展,焦点等

2D3D输出图形和用户友好的数据管理界面

••用于微米区域选择的数字成像工具

•集成反射计,用于小范围内的反射测量

 

系统配置:

探测器:探测器阵列

波长范围可配置为1901700nm

光源:基于SEMSP的波长范围

入射角更改:自动,带有程序设置

阶段:手动或自动映射阶段

软件:TFProbe 3.3

SEMSP结合

电脑:Intel i3处理器

显示器:22英寸宽屏液晶

电源:通用110 240 VAC / 50-60Hz6 A

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