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红外光谱椭偏仪IRSE
型号:TFProbe IRSE
椭圆偏振光谱(SE)是一种成熟的光学技术,用于表征块状材料,薄膜,涂层,表面层和嵌入式层。实现这种技术的波长范围取决于应用。红外(IR)波长范围备受关注,因为材料表现出的结果与在紫外线(UV)和可见光波长范围内观察到的结果有很大不同。例如,大多数非掺杂半导体都是透明的;电介质特征吸收键;金属或掺杂的半导体表现出Drude吸收尾等。因此,红外光谱椭圆仪(IRSE)可以表征材料的结构(厚度,界面,表面粗糙度,污染),光学(光学常数),电(导电性)以及化学信息。
应用案例:
1)零装材料:玻璃,PET,掺杂硅
2)硅外延层:
•掺杂轮廓
•薄外延层(<1 um)
•低对比度N / N外延层
3)半导体外延层(GaAs,Insb,SiC,SiGe,CdHgTe等)
4)介电膜表征
5)应用于FPD的硅层
6)监测a-Si:H工艺质量(CVD,ELA工艺)
7)SiN层中Si-H和N:H的相对含量
8)ITO膜:光学和电学表征
9)BPSG,PSG:硼和磷的浓度
10)低k材料:
•有机低k材料:
确定厚度和光学常数;
计算碳含量(%C);
确定退火前后的水含量;
•SiOC:H:碳含量和孔隙率
•多孔SiO 2:厚度,孔隙率,水含量
11)沟槽,过孔,凹槽和浅沟槽隔离(STI)
12)SOI光波导:厚度测量
特征:
系统配置:
•光源:使用寿命长的Polaris™红外光源
•光谱仪:
迈克尔逊干涉仪双端口输出
Ge on KBr分光镜
高精度HeNe参考激光器
可变光圈光圈
BaF2涂层KBr窗口
•可变入射角:5度间隔20 – 90度
•角度更改模式:手动,带预设插槽
•偏光光学元件:电动栅格红外偏光片
•检测器:带有KBr窗口的TE冷却DLaTGS检测器
•载物台:高精度Z载物台,可倾斜
•样品盘:直径200mm,水平放置
•通讯:USB 2.0
•电脑:Intel i5处理器,8GB内存和500GB带有键盘和鼠标的硬盘
•显示器:22英寸液晶显示器
•软件:TFProbe 3.3
产品相关关键字: 光谱椭偏仪 椭圆偏光仪 椭圆偏振仪 椭偏仪 SE系列光谱椭偏仪 |