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椭圆偏振光谱（SE）是一种成熟的光学技术，用于表征块状材料，薄膜，涂层，表面层和嵌入式层。实现这种技术的波长范围取决于应用。红外（IR）波长范围备受关注，因为材料表现出的结果与在紫外线（UV）和可见光波长范围内观察到的结果有很大不同。例如，大多数非掺杂半导体都是透明的；电介质特征吸收键；金属或掺杂的半导体表现出Drude吸收尾等。因此，红外光谱椭圆仪（IRSE）可以表征材料的结构（厚度，界面，表面粗糙度，污染），光学（光学常数），电（导电性）以及化学信息。

应用案例：

1）零装材料：玻璃，PET，掺杂硅

2）硅外延层：

•掺杂轮廓

•薄外延层（<1 um）

•低对比度N / N外延层

3）半导体外延层（GaAs，Insb，SiC，SiGe，CdHgTe等）

4）介电膜表征

5）应用于FPD的硅层

6）监测a-Si：H工艺质量（CVD，ELA工艺）

7）SiN层中Si-H和N：H的相对含量

8）ITO膜：光学和电学表征

9）BPSG，PSG：硼和磷的浓度

10）低k材料：

•有机低k材料：

确定厚度和光学常数；

计算碳含量（％C）；

确定退火前后的水含量；

•SiOC：H：碳含量和孔隙率

•多孔SiO 2：厚度，孔隙率，水含量

11）沟槽，过孔，凹槽和浅沟槽隔离（STI）

12）SOI光波导：厚度测量

特征：

价格合理，成本低廉，设计紧凑
可与Windows的软件一起使用，高级用户的科学模式，日常操作的操作员模式
可变入射角
用户定义的分辨率
基于FTIR技术的快速测量
全面的光学常数数据库和模型配方
先进的TFProbe软件允许用户定义具有NK表，色散或EMA混合物/复合材料的层以及索引等级以及表面/界面粗糙度...
可通过各种选件和附件进行升级和重新配置
迈克尔逊干涉仪具有连续动态对准功能，可长期保持稳定
使用寿命长的红外光源

系统配置：

•光源：使用寿命长的Polaris™红外光源

•光谱仪：

迈克尔逊干涉仪双端口输出

Ge on KBr分光镜

高精度HeNe参考激光器

可变光圈光圈

BaF2涂层KBr窗口

•可变入射角：5度间隔20 – 90度

•角度更改模式：手动，带预设插槽

•偏光光学元件：电动栅格红外偏光片

•检测器：带有KBr窗口的TE冷却DLaTGS检测器

•载物台：高精度Z载物台，可倾斜

•样品盘：直径200mm，水平放置

•通讯：USB 2.0

•电脑：Intel i5处理器，8GB内存和500GB带有键盘和鼠标的硬盘

•显示器：22英寸液晶显示器

•软件：TFProbe 3.3

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红外光谱椭偏仪IRSE

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