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红外光谱椭偏仪IRSE

简要描述:红外光谱椭圆仪(IRSE)可以表征材料的结构(厚度,界面,表面粗糙度,污染),光学(光学常数),电(导电性)以及化学信息。

  • 产品型号:TFProbe IRSE
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2020-01-08
  • 访  问  量:878

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详细介绍

红外光谱椭偏仪IRSE

型号:TFProbe IRSE

椭圆偏振光谱(SE)是一种成熟的光学技术,用于表征块状材料,薄膜,涂层,表面层和嵌入式层。实现这种技术的波长范围取决于应用。红外(IR)波长范围备受关注,因为材料表现出的结果与在紫外线(UV)和可见光波长范围内观察到的结果有很大不同。例如,大多数非掺杂半导体都是透明的;电介质特征吸收键;金属或掺杂的半导体表现出Drude吸收尾等。因此,红外光谱椭圆仪(IRSE)可以表征材料的结构(厚度,界面,表面粗糙度,污染),光学(光学常数),电(导电性)以及化学信息。

 

应用案例:

1)零装材料:玻璃,PET,掺杂硅

2)硅外延层:

•掺杂轮廓

•薄外延层(<1 um

•低对比度N / N外延层

3)半导体外延层(GaAsInsbSiCSiGeCdHgTe等)

4)介电膜表征

5)应用于FPD的硅层

6)监测a-SiH工艺质量(CVDELA工艺)

7SiN层中Si-HNH的相对含量

8ITO膜:光学和电学表征

9BPSGPSG:硼和磷的浓度

10)低k材料:

•有机低k材料:

确定厚度和光学常数;

计算碳含量(%C);

确定退火前后的水含量;

SiOCH:碳含量和孔隙率

•多孔SiO 2:厚度,孔隙率,水含量

11)沟槽,过孔,凹槽和浅沟槽隔离(STI 

12SOI光波导:厚度测量

 

特征:

  • 价格合理,成本低廉,设计紧凑
  • 可与Windows的软件一起使用,高级用户的科学模式,日常操作的操作员模式
  • 可变入射角
  • 用户定义的分辨率
  • 基于FTIR技术的快速测量
  • 全面的光学常数数据库和模型配方
  • 先进的TFProbe软件允许用户定义具有NK表,色散或EMA混合物/复合材料的层以及索引等级以及表面/界面粗糙度...
  • 可通过各种选件和附件进行升级和重新配置
  • 迈克尔逊干涉仪具有连续动态对准功能,可长期保持稳定
  • 使用寿命长的红外光源

系统配置:

•光源:使用寿命长的Polaris™红外光源

•光谱仪:

迈克尔逊干涉仪双端口输出

Ge on KBr分光镜

高精度HeNe参考激光器

可变光圈光圈

BaF2涂层KBr窗口

•可变入射角:5度间隔20 90

•角度更改模式:手动,带预设插槽

•偏光光学元件:电动栅格红外偏光片

•检测器:带有KBr窗口的TE冷却DLaTGS检测器

•载物台:高精度Z载物台,可倾斜

•样品盘:直径200mm,水平放置

•通讯:USB 2.0

•电脑:Intel i5处理器,8GB内存和500GB带有键盘和鼠标的硬盘

•显示器:22英寸液晶显示器

•软件:TFProbe 3.3

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