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  • M-HP 200M-HP热板

    M-HP热板

    产品型号:

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    介绍:M-HP热板200用于烘烤和回火加热晶圆片或基板。该热板适用于直径最大为8英寸的晶圆片或最大6英寸x6英寸的衬底。内置模块可轻松用于湿式工作台。工艺参数(温度,加热时间)可以随时更改。热板温度可在20°C和250C之间调节。可在1到999秒之间设置处理时间。

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