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M-HP热板

简要描述:介绍:M-HP热板 200用于烘烤和回火加热晶圆片或基板。该热板适用于直径大为8英寸的晶圆片或大6英寸 x6英寸的衬底。内置模块可轻松用于湿式工作台。工艺参数(温度,加热时间)可以随时更改。 热板温度可在20°C和250C之间调节。可在1到999秒之间设置处理时间。

  • 产品型号:M-HP 200
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-05-17
  • 访  问  量:903

详细介绍

产品参数:

  • 型号:M-HP 200 Hotplate热板  
  • 处理尺寸:直径大8英寸晶圆6 英寸x6英寸基板
  • 温度范围:20°C至250°C可调
  • 功率:600瓦
  • 加热时间:从1到9999秒
  • 热板表面安全盖材质:不锈钢
  • 不带盖的热板尺寸:约350mm x 350mm x 200mm
  • 控制器的尺寸:约135mm x 145mm x 95mm
  • 台式柜的尺寸:约 460mm x 360mm x 325mm
  • 重量:约200磅

 

 

主营产品:

Laurell匀胶机     

Harrick等离子清洗机

Thetametrisis膜厚仪  

Microxact探针台

ALD原子层沉积系统

TRION反应离子刻蚀机

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻机       

Novascan紫外臭氧清洗机

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