精密加热板的顶板由高导热铝合金制成,具有光滑、易于护理的阳极氧化表面。 电长期加热的设计使角落和边缘的温度非常均匀。
加热台等用途可在光刻工艺中的涂胶后的软烘,暴光后烘,显影后的坚膜,磨片粘片熔腊等,它采用整体铸造,加热板作为加热体,增强了设备的安全性。采用单片机作为控制核心部件,有*精准的控温精度,紧凑美观。该设备对一些温度敏感材料(如晶体、半导体、陶瓷等)进行加热和装卡尤为适用。
UNIXX系列手动控制加热台带有气动升降销的烘焙模块配有一个手动PID控制器和计时器开关。 经过微处理(PID)控制器用于高测量温度控制准确性。 确定过程的设定值和参数用5场塑料薄膜键盘调节。可自由编程的定时开关有两个可调派生计时器和两个省略计时器。 与各种参数的可能性,两个输出触点和两个切换输入将允许使用任何一种应用程序可以使用的。
UNIXX系列单面烘烤加热台,HT20e设计用于基材的单面烘烤,用于预烘烤和后烘烤或脱水烘烤过程。尤其适用于粘合剂底漆(HMDS;六甲基二硅氮烷),可用于蒸汽底漆或真空干燥的热板模块。带有电子可编程升降针的烘烤模块,配有触摸屏,便于操作。 软件提供了简单方便的过程控制和配方创建。 界面简单易于使用,可随时控制流程。这些温度模块有台式安装式,塔式安装式或独立式供选择。
介绍:M-HP热板 200用于烘烤和回火加热晶圆片或基板。该热板适用于直径大为8英寸的晶圆片或大6英寸 x6英寸的衬底。内置模块可轻松用于湿式工作台。工艺参数(温度,加热时间)可以随时更改。 热板温度可在20°C和250C之间调节。可在1到999秒之间设置处理时间。
烤胶机(英文名:Hot Plate)又名烘胶台,烤胶台,加热平台,烤胶板,热台,热板等用途可在光刻工艺中的涂胶后的软烘,暴光后烘,显影后的坚膜,磨片粘片熔腊等,它采用整体铸造,加热板作为加热体,增强了设备的安全性。采用单片机作为控制核心部件,有*精准的控温精度,紧凑美观。该设备对一些温度敏感材料(如晶体、半导体、陶瓷等)进行加热和装卡尤为适用。