匀胶机/匀胶旋涂仪 |
湿法刻蚀显影清洗系统 |
掩膜曝光光刻机 |
狭缝涂布仪 |
烤胶机/热板 |
快速退火炉 |
纳米压印光刻机 |
· |
NIL系列 |
紫外固化机/紫外固化箱 |
紫外臭氧清洗机 |
等离子清洗机 |
· |
大气常压等离子清洗系统 |
· |
HPC小型射频等离子清洗机 |
· |
PIE小型等离子清洗机 |
· |
PPC微波等离子清洗机 |
· |
PE等离子表面处理清洗机 |
· |
STAR系列等离子清洗机 |
· |
SCE射频等离子清洗系统 |
· |
Anatech等离子刻蚀机 |
超声波清洗机 |
等离子去胶机 |
原子层沉积系统 |
光学膜厚仪 |
探针台 |
压片机/液压机 |
· |
等静压机 |
· |
标准型实验室压片机 |
· |
加热型手动压片机 |
· |
自动台式实验室压片机 |
· |
压实密度仪 |
· |
实验室电动压片机 |
· |
层压机 |
· |
Dake手压机 |
· |
Dake压片机 |
· |
WABASH平板硫化机 |
制样机 |
接触角测角仪 |
手持式表面分析仪 |
干冰清洗机 |
注射泵 |
显微镜检测系统 |
程序剪切仪 |
韩国波导树脂 |
环氧树脂 |
光学试剂 |
· |
美国Cargille光学试剂 |
· |
美国Cargille光学浸入液 |
· |
美国Cargille激光液 |
· |
美国Cargille封片剂 |
· |
美国Cargille硼酸片 |
· |
美国Cargille显微镜浸油/香柏油 |
· |
美国Cargille光学试剂/光纤匹配膏 |
· |
美国Cargille折射率匹配液 |
· |
Naphrax 硅藻胶 |
钙钛矿材料 |
· |
钙钛矿前体材料 |
· |
钙钛矿前体油墨 |
· |
空穴传输材料&掺杂物 |
· |
密封剂 |
· |
添加剂材料/改性剂材料 |
· |
玻璃基板 |
· |
电解质/电解液 |
· |
染料&光敏剂 |
· |
配体材料&中间分子材料 |
· |
二氧化钛膏&铂膏 |
光刻胶 |
碳纸碳布 |
· |
碳纸 |
防潮箱 |
马弗炉 |
培养箱 |
蠕动泵 |
热循环仪 |
离心机 |
· |
高速冷冻离心机 |
手套箱 |
天平 |
键合机 |
· |
JFP引线键合机 |
紫外交联仪 |
· |
UVP紫外交联仪 |
膜厚监测仪 |
离子溅射仪 |
搅拌脱泡机 |
椭偏仪 |
自动涂膜器 |
分光光度计 |
· |
红外光谱仪 |
点胶机 |
喷涂机 |
晶圆片 |
密度测试仪 |
临界点干燥仪 |
光谱仪 |
太阳光模拟器 |
干燥机 |
· |
旋转冲洗干燥机 |
Norland胶水 |
· |
光学胶 |
超声喷涂机 |
真空回流焊炉 |
过滤器 |
切割机 |
· |
晶圆切割机 |
电镜耗材 |
Alconox清洁剂 |
有机光伏材料 |
钙钛矿界面材料 |
Rondol挤压机 |
切割设备 |
超声波细胞粉碎机 |
低温水循环 |
水浴油浴 |
蒸发器 |
冻干机 |
剥离器 |
紫外掩膜曝光系统 |
美国Tergeo系列台式等离子清洗机为实验室、研发和小规模生产部门提供性价比高的小型等离子清洗设备。Tergeo-EM等离子清洗机是为SEM / TEM样品清洗应用而设计。它取代了标准Tergeo等离子清洗机中的石英窗,采用不锈钢适配器,可放入两个不同品牌的TEM样品杆,可将SEM样品架放置在内部石英板上进行清洗。
特点:
1)双等离子源设计可满足不同样品的要求。 间接模式足够温和,可以处理3nm超薄多孔碳网格。 直接模式可以足够强,可以去除超过几微米厚的有机污染层。
直接/浸入式清洗模式
在样品室中产生等离子体。将样品浸入等离子体中,样品与自由基和高能离子溅射发生化学反应。用于高速光刻胶灰化,蚀刻和样品表面处理。
远程/下游式清洗模式
在样品室外产生等离子体。只有电中性的活性自由基(比如原子氧,原子氢)进入样品室, 离子和电子只存在于样品室以外的等离子源里面。因为样品未浸入等离子体中,样品表面仅和中性自由基发生温和的化学反应。 没有高能离子溅射!用于易损薄膜,如多孔碳TEM网格和热敏复合材料,聚合物和生物样品等。
2)脉冲等离子技术可为极薄的多孔碳网生成极弱的等离子体,降低等离子体对样品的损伤。
脉冲模式操作可显着降低精细样品的平均等离子体强度。
用户可以通过改变射频功率或射频脉冲来调节等离子体强度。
3)独特的等离子体强度传感器定量监测等离子体强度,用户可以根据不同种类的样品调整等离子体。
4)直观的操作,大型7英寸触摸屏。 可从外部计算机操作。 可保存运行日志文件。 具有智能自诊断功能。
5)可批量处理样品。 石英腔:直径110mm,深度280mm,带有矩形石英样品盘(100mmX250mm),可容纳一批样品。双TEM杆适配器,可配置两个不同品牌的TEM样品杆。
应用实例
等离子体清洗前后的TEM样品
Ted-Pella 20nm纯碳网格(01843)
应用方案
在材料测试中,样品自身可将碳氢污染物引入SEM,FIB和TEM样品室,长时间的电子束扫描会分解样品室里面的润滑油、真空油脂,造成碳氢污染,从而导致样品表面形成黑色碳沉积。XPS数据显示,在暴露在空气中仅一小时后,干净样品的表面就被空气中的碳氢化合物污染。不少样品自身也会引入碳氢污染。对于高分辨率FE-SEM上的低着陆能量高分辨率二次电子模式成像,二次电子主要来自很浅的表层。如果样品表面被一层碳氢化合物污染,则电子信号大部分从污染层中出来。因此,碳氢化合物污染会降低图像对比度和分辨率。
在材料测试前,我们需要预清洗SEM和TEM上的碳氢污染物,以确保其准确度。可使用Tergeo-EM台式等离子清洗机预清洁SEM和TEM。可使用空气,Ar, O2或H2气体以及不同比例的混合气体在Tergeo-EM等离子体清洗机中产生等离子体,自由基可以有效地去除样品表面上的碳氢化合物污染物。Tergeo-EM等离子清洗机可将浸没模式等离子体清洁(样品浸没在等离子体中)和下游模式等离子体清洁(样品放置在等离子体外)集成在一个系统中的TEM / SEM等离子清洗机 。Tergeo-EM等离子清洗机可满足从高速光阻胶灰化到柔和地清洗石墨烯、碳纳米管、DLC(类金刚石碳)、碳纤维、碳网、多孔TEM样品,以及其他超薄涂层的样品清洗。此外,独特的脉冲模式可产生极短的等离子体脉冲,为精细样品进一步降低等离子体强度。等离子传感器技术可实时监测等离子体强度。它可以帮助用户为不同类型的样品设置正确的清洁配方。