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美国Tergeo系列台式等离子清洗机为实验室、研发和小规模生产部门提供性价比高的小型等离子清洗设备。Tergeo-EM等离子清洗机是为SEM / TEM样品清洗应用而设计。它取代了标准Tergeo等离子清洗机中的石英窗，采用不锈钢适配器，可放入两个不同品牌的TEM样品杆，可将SEM样品架放置在内部石英板上进行清洗。

特点：

1）双等离子源设计可满足不同样品的要求。间接模式足够温和，可以处理3nm超薄多孔碳网格。直接模式可以足够强，可以去除超过几微米厚的有机污染层。

直接/浸入式清洗模式

在样品室中产生等离子体。将样品浸入等离子体中，样品与自由基和高能离子溅射发生化学反应。用于高速光刻胶灰化，蚀刻和样品表面处理。

远程/下游式清洗模式

在样品室外产生等离子体。只有电中性的活性自由基(比如原子氧，原子氢)进入样品室，离子和电子只存在于样品室以外的等离子源里面。因为样品未浸入等离子体中，样品表面仅和中性自由基发生温和的化学反应。没有高能离子溅射！用于易损薄膜，如多孔碳TEM网格和热敏复合材料，聚合物和生物样品等。

2）脉冲等离子技术可为极薄的多孔碳网生成极弱的等离子体，降低等离子体对样品的损伤。

脉冲模式操作可显着降低精细样品的平均等离子体强度。

用户可以通过改变射频功率或射频脉冲来调节等离子体强度。

3）独特的等离子体强度传感器定量监测等离子体强度，用户可以根据不同种类的样品调整等离子体。

4）直观的操作，大型7英寸触摸屏。可从外部计算机操作。可保存运行日志文件。具有智能自诊断功能。

5）可批量处理样品。石英腔：直径110mm，深度280mm，带有矩形石英样品盘（100mmX250mm），可容纳一批样品。双TEM杆适配器，可配置两个不同品牌的TEM样品杆。

应用实例

等离子体清洗前后的TEM样品

Ted-Pella 20nm纯碳网格（01843）

应用方案

在材料测试中，样品自身可将碳氢污染物引入SEM，FIB和TEM样品室，长时间的电子束扫描会分解样品室里面的润滑油、真空油脂，造成碳氢污染，从而导致样品表面形成黑色碳沉积。XPS数据显示，在暴露在空气中仅一小时后，干净样品的表面就被空气中的碳氢化合物污染。不少样品自身也会引入碳氢污染。对于高分辨率FE-SEM上的低着陆能量高分辨率二次电子模式成像，二次电子主要来自很浅的表层。如果样品表面被一层碳氢化合物污染，则电子信号大部分从污染层中出来。因此，碳氢化合物污染会降低图像对比度和分辨率。

在材料测试前，我们需要预清洗SEM和TEM上的碳氢污染物，以确保其准确度。可使用Tergeo-EM台式等离子清洗机预清洁SEM和TEM。可使用空气，Ar， O2或H2气体以及不同比例的混合气体在Tergeo-EM等离子体清洗机中产生等离子体，自由基可以有效地去除样品表面上的碳氢化合物污染物。Tergeo-EM等离子清洗机可将浸没模式等离子体清洁（样品浸没在等离子体中）和下游模式等离子体清洁（样品放置在等离子体外）集成在一个系统中的TEM / SEM等离子清洗机。Tergeo-EM等离子清洗机可满足从高速光阻胶灰化到柔和地清洗石墨烯、碳纳米管、DLC（类金刚石碳）、碳纤维、碳网、多孔TEM样品，以及其他超薄涂层的样品清洗。此外，独特的脉冲模式可产生极短的等离子体脉冲，为精细样品进一步降低等离子体强度。等离子传感器技术可实时监测等离子体强度。它可以帮助用户为不同类型的样品设置正确的清洁配方。