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  • UV-KUB 3UV-LED 的紧凑型掩膜对准系统
    UV-KUB 3 是一种基于掩膜对准系统的 UV-LED,具有 365nm 的可用光源。 这是一个非常紧凑的桌面系统,兼容 4 英寸晶圆和 100x100 mm² 工作表面。 由于特定的光学装置可提供最大发散角小于 2° 的准直光束,因此可实现的最小特征尺寸为 2 µm。
  • UV-KUB2UV-LED紫外掩膜曝光系统
    我们在Dilase 直接激光写入光刻技术方面拥有丰富的经验,因此推出了用于固化紫外光感光材料的 UV-KUB 系统。 UV-KUB 2 是一种基于 UV LED 的曝光和掩膜系统,具有 365nm 的可用光源。 这是一款紧凑型的桌面系统,能够曝光最大直径为 4“ 或 6“ 的晶圆。

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