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型号	SPIN150i	SPIN200i	POLOS300	POLOS450	POLOS600
基片范围	直径160mm or 4?方片	直径260mm or 6?方片	直径360mm or 8?方片	直径460mm or 350mm方片	直径600mm or 430mm方片
程序段数	无限制	无限制	无限制	无限制	30个程序
操作步数	无限制	无限制	无限制	无限制	90个步骤
旋转速度	0-12,000 rpm ±1rpm steps	0-12,000 rpm ±1rpm steps	0-12,000 rpm ±1rpm steps	0-1500rpm ±1rpm steps	0-1,500 rpm ±1rpm steps
旋转精度	±0.1 rpm	±0.1 rpm	±0.1 rpm	±0.1 rpm	±0.1 rpm
旋转方向	顺时针、逆时针、交换摆	顺时针、逆时针、交换摆	顺时针、逆时针、交换摆	顺时针、逆时针、交换摆	顺时针、逆时针
加速度	30,000 rpm/sec	30,000 rpm/sec	30,000 rpm/sec	≤1500rpm时取决于负载	500 rpm/sec
旋转时间	无限制*,± 0.1 seconds steps	无限制*,± 0.1 seconds steps	无限制*,± 0.1 seconds steps	无限制*,± 0.1 seconds steps	1 to 999 sec/step
腔体直径	202 mm	302 mm	402 mm	502 mm	642mm
外形尺寸 (whd )	274 x 250 x 451 mm	380 x 307 x 559mm	430 x 310 x 650mm	795 x 638 x 922mm	800 x 1,450 x 1,650mm
触屏控制	全彩触屏控制	全彩触屏控制	全彩触屏控制	全彩触屏控制	全彩触屏控制
设备重量	14Kg	20Kg	32Kg	75Kg
电源参数	220V,50/60 Hz	220V,50/60 Hz	220V,50/60 Hz	220V,50/60 Hz	220V,50/60 Hz

三、匀胶机的特点：

1、该匀胶机采用德国先进技术：
2、匀胶机采用NPP天然聚丙烯材质构造设计，这种材质有很好的抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；
3、匀胶机真空Chuck经精密加工制成，具有良好的光洁度及平整度，保证晶圆片被很好地吸附，主轴采用进口微型单列向心球轴承支撑，轴向有弹性垫及调整垫，可保障主轴具有较高的精度。
4、在安装结构上，采取了减振措施，保证了在运转时噪音很低，保证涂覆表面均匀，保证通过调节转速调节涂覆厚度。
5、匀胶机腔体配备吹氮(N2)功能，或压缩空气、氮气压力可通过调压阀和节流阀实现调节，与配套真空泵一同使用。

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SPIN匀胶机POLOS

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