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德国osiris显影机:DEVELOPER,设计用于:显影、清洁和干燥。晶圆显影机在半导体制造和微纳加工领域起着至关重要的作用,帮助实现微电子元件的精密制造和微米级结构的加工。
UNIXX S 30 D 显影机是应用于显影工艺的设备,适用的基板尺寸为2英寸到12英寸的 圆片和最大到9英寸x9英寸的方片。新设计的三片式可拆卸工艺腔体可实现良好的工艺 均匀性和重复性,设备也可用于清洗和旋干工艺。 UNIXX S 30 D的落地式柜体经专门设计,方便操作和维修。它是一款手动显影机,适 用于实验室开展科学研究和技术开发。设备具有多选项(例如可编程流体输送臂)并且 可以升级成自动化
UNIXX S 20 D 显影机是应用于显影工艺的设备,适用的基板尺寸最大到8英寸的圆片 和最大到6英寸x6英寸的方片。新设计的三片式可拆卸工艺腔体可实现良好的工艺均匀 性和重复性,设备也可用于清洗和旋干工艺。 UNIXX S 20 D的落地式柜体经专门设计,方便操作和维修。它是一款手动显影机,适 用于实验室开展科学研究和技术开发。设备具有多选项(例如可编程流体输送臂)并且 可以升级成自动化的系统