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EDC-650显影机开机启动适用工艺

发布时间:2018-01-24      点击次数:1253
  EDC-650显影机开机启动适用工艺
  
  EDC-650显影机是一种既可用于精密匀胶操作,又可用于半导体显影和清洗的台面式设备,它可以实现价值百万美元设备的上才可能达到稳定性和均匀性。
  
  EDC-650显影机要注意的问题如下:
  
  ①开机前就应该启动显影机给显影液预热,待显影液温度达到设定的温度值再开始显影。
  
  ②定期清洗显影槽和显影槽中的各种胶辊,以避免印版带脏、刮伤等现象的出现。
  
  ③清洗涂胶的胶辊,以免胶辊干结从而对驱动电机造成损害。
  
  ④注意显影液的疲劳程度,及时地更换显影液。
  
  EDC-650显影机适用工艺(包括但不限于下述湿法制程)
  
  光刻胶显影(KrF/ArF)
  
  SU8厚胶显影
  
  显影后清洗
  
  PostCMP清洗
  
  光罩去胶清洗
  
  光刻胶去除
  
  金属Lift-off处理
  
  刻蚀微刻蚀处理
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