匀胶机/匀胶旋涂仪 |
湿法刻蚀显影清洗系统 |
掩膜曝光光刻机 |
· |
Mask Aligner系列 |
· |
NXQ系列 |
狭缝涂布仪 |
烤胶机/热板 |
快速退火炉 |
纳米压印光刻机 |
· |
NIL系列 |
紫外臭氧清洗机 |
紫外固化机/紫外固化箱 |
等离子清洗机 |
· |
大气常压等离子清洗系统 |
· |
HPC小型射频等离子清洗机 |
· |
PIE小型等离子清洗机 |
· |
PPC微波等离子清洗机 |
· |
PE等离子表面处理清洗机 |
· |
STAR系列等离子清洗机 |
· |
SCE射频等离子清洗系统 |
· |
Anatech等离子刻蚀机 |
超声波清洗机 |
等离子去胶机 |
探针台 |
光学膜厚仪 |
原子层沉积系统 |
压片机/液压机 |
· |
等静压机 |
· |
标准型实验室压片机 |
· |
加热型手动压片机 |
· |
自动台式实验室压片机 |
· |
压实密度仪 |
· |
实验室电动压片机 |
· |
层压机 |
· |
Dake手压机 |
· |
Dake压片机 |
· |
WABASH平板硫化机 |
制样机 |
手持式表面分析仪 |
接触角测角仪 |
干冰清洗机 |
注射泵 |
显微镜检测系统 |
程序剪切仪 |
光学试剂 |
· |
美国Cargille光学试剂 |
· |
美国Cargille光学浸入液 |
· |
美国Cargille激光液 |
· |
美国Cargille封片剂 |
· |
美国Cargille硼酸片 |
· |
美国Cargille显微镜浸油/香柏油 |
· |
美国Cargille光学试剂/光纤匹配膏 |
· |
美国Cargille折射率匹配液 |
· |
Naphrax 硅藻胶 |
韩国波导树脂 |
环氧树脂 |
钙钛矿材料 |
· |
钙钛矿前体材料 |
· |
钙钛矿前体油墨 |
· |
空穴传输材料&掺杂物 |
· |
密封剂 |
· |
添加剂材料/改性剂材料 |
· |
玻璃基板 |
· |
电解质/电解液 |
· |
染料&光敏剂 |
· |
配体材料&中间分子材料 |
· |
二氧化钛膏&铂膏 |
光刻胶 |
碳纸碳布 |
· |
碳纸 |
防潮箱 |
马弗炉 |
培养箱 |
蠕动泵 |
热循环仪 |
离心机 |
手套箱 |
天平 |
键合机 |
· |
JFP引线键合机 |
紫外交联仪 |
· |
UVP紫外交联仪 |
膜厚监测仪 |
离子溅射仪 |
搅拌脱泡机 |
椭偏仪 |
自动涂膜器 |
分光光度计 |
· |
红外光谱仪 |
点胶机 |
喷涂机 |
晶圆片 |
密度测试仪 |
临界点干燥仪 |
光谱仪 |
太阳光模拟器 |
干燥机 |
· |
旋转冲洗干燥机 |
Norland胶水 |
· |
光学胶 |
超声喷涂机 |
真空回流焊炉 |
过滤器 |
切割机 |
· |
晶圆切割机 |
型号: 反应离子刻蚀机PlasmaStar 200/200RIE
产地: 美国
品牌: Axic
环球供应,本地服务!MYCRO专业为您提供实验室RIE反应离子刻蚀机设备,*的技术服务及售后,MYCRO值得您的的信赖!
技术规格:
型号 | PlasmaStar 100 | PlasmaStar 100RIE | PlasmaStar 200 | PlasmaStar 200RIE |
舱体尺寸 | 直径254×深度356mm | 直径200×深度280mm | 宽305×高305×深406mm | 宽305 ×高200×深406mm |
舱体材质 | 标配为阳极氧化铝舱体 | |||
常用气体 | 空气,氧气,氢气,氩气,氮气,CF4,SF6等和其他混合气体 | |||
气路控制 | 标配2路MFC,PlasmaStar 100最多可选配4路, | 标配2路MFC,PlasmaStar 200最多可选配5路; | ||
控制系统 | 电阻触摸屏操作界面 | |||
程序控制 | PC触屏控制,可编程序,无线存储数据 | |||
射频频率 | 13.56 MHz | |||
射频功率 | 0~600W瓦之间距连续可调,自动匹配 | 0~1000W瓦之间距连续可调,自动匹配 | ||
电极设计 | 标准圆柱形笼式电极; | 标准圆柱形笼式电极; 可选交替多层托盘电极; 可选RIE平面处理水冷平板电极 | ||
设备尺寸 | 宽800 x 深850 x 高525mm; | 宽1033 x 深850 x 高635mm; |
产品相关关键字: 反应离子刻蚀系统 反应离子蚀刻机 RIE刻蚀机 反应离子蚀刻系统 进口反应离子蚀刻机 |