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与当今仍主导行业的传统纳米压印工具相比,桌面 R2P NanoImprinter 由 Stensborg 的现场工程师开发,是一款小型且具有成本竞争力的卷对板压印机。这种智能技术是同类产品中的;纳米压印光刻桌面和卷对板 (R2P) 设备。
我们的卷对板 NIL 工艺使用获得的压印工艺以及可调节的压印力,以最大限度地减少材料收缩,同时减少气泡问题。这种压印工艺降低了对基材一致性的要求,从而降低了成本并提高了产量。
Stensborg 的工程师在设计这款 R2P NanoImprinter 时考虑到了节约成本,同时旨在打造一台具有高质量输出的机器;通过对每小时多达 60 个板/晶圆进行定期性能审查,质量不会在大量使用中受到影响。
基材厚度:最大 11 毫米
复制速度:每小时60次手动复制(速度可达5m/min)
速度范围 0.1 至 5 m/min。
光固化引擎:LongLife 395nm LED
最大功率:在 5m/min 时高达 120mJ/cm2。
设备尺寸和重量:670x380x320 mm (LxWxH), 26kg
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