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退火炉

简要描述:普通扩散炉,管式炉由于升温速率很慢,因此对测温模块的响应速度都没有特殊要求,常常采用市场上常见低廉的所谓“数字智能"控温表头来作为测温控温的主要组件,俗称“欧陆表"。
但是,在快速升温的情况下,测温表头的工作频率已经跟不上温度变化的速度,有时候样品实际温度与测量温度会相差上百!因此就不能使用通常的办法测温。和国外主流产品一样,东之星的快速热处理设备也采用自主研发的温度测量电路以及控制电路,为设备

  • 产品型号:RTP500V-mini/RTP600V
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-05-17
  • 访  问  量:585

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详细介绍

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目前在半导体技术领域中,科学家试图利用极微量的氧气对薄膜表面进行去毛刺工艺,如果氧气量过大,将可能把整个薄膜“吃掉",氧气量小但不稳定,则影响到成品的品质和重复性。这对RTP在微量气体的混气控制上提出了极大的挑战。
  实现常压下千分之一的气体分压。即反应气体和保护气氛的常压配比为1比1000。一般实现气体配比的方法是使用质量流量控制器(MFC),对两种气体的流量进行精确控制,例如配比为3:2时,两个质量流量计的流量分别调整为600sccm和400sccm,这时气体配比就可以实现3:2的配比。
  但是,当两种气体的配比非常悬殊的时候,就产生两个问题,首先是大量程MFC的误差绝对值超过了小量程气体MFC本身的量,使得配比的重复性和精确度变差。即使使用进口的MFC也不能幸免。其次,由于一方气体流量过小,会使流量大的一方的气体阻止或倒灌到流量小的气路中,从而无法保证反应气体进入反应室内。
北京东之星应用物理研究所首先采用精确的压力控制使压力与流量有效的配合,同时委托MFC厂家以东之星*的送气控制方式定制了MFC。从而有效的防止了大配比气体(一般是氮气)的倒灌和阻塞。才实现了高精确度的千分之一气体配比。


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