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MYCRO的SCE-604系列感应耦合等离子体(ICP)等离子体系统是用于Anatech等离子灰化机工艺的Z有效仪器。适用设备如:SCE-104, 106, 108。等体灰化1-4个样本的系统(4个独立的反应舱),每个石英反应舱是独立封闭,从而避免交叉污染。
MYCRO的SCE-110系列Anatech ICP等离子刻蚀机是用于等离子体灰化工艺的Z有效仪器。SCE-110等离子灰化机用于残留无机物的扫描电镜(SEM)和或化学分析之前的有机物去除。适用设备如:SCE-104, 106, 108。