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当气体暴露在电子区域时可以形成等离子体。如果该区域气流足够强，高比例的气体原子将服从电子或两个成为已电离的。由此产生的电离气体和释放的高能电子组成的气体等离子或离子。已电离的气体原子的动能相对较小，除非他们通过电场加速。加速时，他们会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。等离子体效应的过程转换成材料的蚀刻工艺。活性气体在分子级上的使用也产生化学反应。
气体等离子体类型：各向异性等离子体是有方向性的，由电气控制一些具体的高能离子，或某个范围的能量（见美国铝框系统）。
各向同性等离子体是多方位和包含整个的3 – D等离子的设备（见美国石英筒备系统）。
气体等离子体处理了超过湿化学处理几个优点。液体的表面张力的现象消除，正如泡沫的形成，这可能会导致不完全湿化。等离子蚀刻可以迅速结束，终止进程，而液体蚀刻工艺很难准确的结束。
“绿色”的优势：无氟氯化碳和污水，操作和环境安全。排除有毒和腐蚀性的液体。等离子处理的主要缺点是较低的吞吐量。
我们致力于气体等离子处理，即让气体在常温下，无热相变下改变。这些气体可以是惰性的，也可以是起反应的。在反应性气体的情况下，利用动量转移处理以及气体反应的化学性质改变材料的特性。
铝质腔体等离子系统Aluminum Chamber Plasma Systems
SCE 14铝质腔体等离子系统
长宽高356毫米的立方体腔体
外形尺寸559毫米 x 686毫米 x 915毫米 (w,d,h)
SCE 18铝质腔体等离子系统
长宽高457毫米的立方体腔体
外形尺寸 711毫米x 711毫米x 1651毫米(w,d,h)
SCE 24铝质腔体等离子系统
长宽高610毫米的立方体腔体
外形尺寸 864毫米 x 813毫米 x 1829毫米 (w,d,h)
SCE30铝质腔体等离子系统
长宽高762毫米的立方体腔体
外形尺寸915毫米x 915毫米x 1829毫米(w,d,h)
石英滚筒等离子系统Quartz Barrel Plasma Systems
4" diameter x 8" long
102毫米直径 x 203毫米长腔体
外形尺寸26" H x 23" W x 30" D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE 106石英滚筒等离子处理系统
6" diameter x 8"long
152毫米直径x 203毫米长腔体
外形尺寸 26" H x 23" W x 30" D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE108石英滚筒等离子处理系统
8" diameter x 8"long 腔体
203毫米直径x203毫米长
外形尺寸 26"H x 23"W x 30"D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE110石英滚筒等离子处理系统
10" dia x 18" L long
254毫米直径x 457毫米长腔体
外形尺寸36"H x 21"W x 30"D 914毫米Hx533毫米W x 762毫米 D
SCE 115石英滚筒等离子处理系统
10" dia x 18" L long
254毫米直径x 457毫米长腔体
外形尺寸22" W x 36" H x 27" D 559毫米x914毫米H x 686毫米 D
SCE150石英滚筒等离子处理系统
10" dia x 18"L 2 4毫米直径x 457毫米长腔体
SCE 604石英滚筒等离子处理系统
Four (4) chambers 4" x 8" diameter Quartz
4个腔体102毫米x203毫米直径石英腔体
玻璃等离子系统Tumbler Plasma Systems
SCE 10等离子处理系统
SCE 18等离子处理系统
Aluminum Basket (457毫米 x 1016毫米)
控制系统Control System
• PLC - "Touch-Panel" operation
PLC 触摸面板操作
• Digital count down timer (hrs, min, sec)
数字倒计时定时器（小时，分，秒）
• Digital On-Screen vacuum display
数码屏幕真空显示器
• Gas flow with needle valve control
气体流量针形阀控制
• Manual tuning standard
手动校准标准
• Optional: Automatic RF tuning for load match
• 可选的：自动射频调整与负载匹配
反应腔体Reactor Chamber
• 4" diameter x 8" long quartz chamber
• 4英寸直径x8英寸长的石英舱体
• RF shielded
• 射频屏蔽
• Front load
• 前负荷
尺寸：Dimensions
• 26" H x 23" W x 30" D
• 26英寸（H）x23英寸（W）x30英寸（D）
• 275 lbs Crated weight
• 275磅包装重量。
射频功率源RF Power Source
• 0-150 Watt RF 13.56 MHz supply
• 0-150 W射频13.56兆赫兹供应
• Forward and reflected power readings
• 正向和反射功率读数
• Low frequency optional
• 低频选项
| 产品相关关键字： 电感耦合等离子刻蚀机 等离子去胶机 等离子键合机 氧等离子清洗机 等离子处理系统 |
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