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射频真空等离子表面处理系统 PT1000-PE等离子清洗机是一款专门针对科研院所研制的小批量样品表面处理设备,利用真空环境产生等离子体去处理样品的表面,达到常规清洗方法无法达到的效果。
实验室等离子清洗机PT1000等离子清洗机是一款专门针对科研院所研制的小批量样品表面处理设备,利用真空环境产生等离子体去处理样品的表面,达到常规清洗方法无法达到的效果。具有设备小巧,真空腔容量大,适用于实验室环境;清洗过程不会产生高温,避免产品产生热变形;可以处理各种各样的材质,如金属、半导体、氧化物或高分子材料,应用广泛。
射频等离子体蚀刻机Quorum K1050X可以用于使用反应气体(例如CF 4) 去除硅层,以及用于使用氧气去除光刻胶。 等离子灰化是指使用氧气或空气对有机材料进行可控的低温去除,其广泛应用于研究和质量控制领域。RF等离子还可用于塑料和聚合物的表面改性-以及清洁TEM和SEM样品以及样品支架。
TEM清洗机GloQube®Plus是一种经济高效,紧凑且易于使用的辉光放电系统,旨在满足使用TEM的实验室的需求。GloQube®Plus的主要应用是修改TEM网格的表面,使其满足成功成像的要求。
远程等离子清洁的原理 远程等离子源需安装在要被清洁的真空腔室上,控制器向远程离子源提供射频能量。射频电磁场能激发等离子体,分解输入气体而产生氧或氢的活性基,活性基会扩散到下游的真空腔室,并与其中的污染物发生化学反应,反应产物能轻易地被抽走。远程等离子清洗机可同时清洁真空系统和样品。
美国PIE出品的EM远程等离子清洁仪,广泛用于SEM扫描电镜,FIB聚焦离子束双束电镜,TEM透射电镜,XPS_X射线光电子能谱分析仪,ALD原子层沉积系统,CD-SEM, EBR, EBI, EUVL和其它高真空系统,可同时清洁真空腔室和样品!