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通过以下总结的方法,能简单的判断晶圆划片机出现故障的原因

发布时间:2020-07-23      点击次数:1129
  在晶圆划片机划切过程中,晶圆在划切时需要固定在吸盘上。在吸盘的表面加工有吸附槽,通过使吸附槽内产生低压真空以将晶圆吸附在吸盘表面。
  由于划切过程中主轴在高速的旋转,刀片在划切晶圆时产生很大的切削力,所以晶圆的吸附需要非常的稳定和可靠。而现有的吸盘,存在吸附稳定性差的问题。
  吸盘的吸附力的大小将直接影响到真空吸附的稳定性,而吸附力的大小与吸盘表面设置的吸附槽的大小及形状、布局等有关。并且,如果吸附槽中落入杂质,不能及时进行清理的话,将会影响真空吸附力,从而影响吸附稳定性。而现有的吸盘,其上设有方形的吸附槽,而方形吸附槽内的杂质由于不易清理,严重地影响了其次吸附力,从而影响了吸附稳定性。
  晶圆划片机出现故障怎么维修?
  主轴抱死——主要原因是空气回路不洁净,过滤效果不好,特别是进入油、杂子造成气孔堵塞而造成的。
  修理方法:首先,更换过滤器芯,过滤效果;其次,打开主轴重新研磨轴承内孔及端面,然后用航空汽油彻底清洗干净即可。此操作一般用户不具备条件,应送专业厂修理。
  振动过大——主要原因,一是主轴动平衡不好(包括刀盘),二是砂轮片动平衡不好。
  修理方法:主轴重新做动平衡达到合格,此操作一般用户不具备条件,应送专业厂修理;或更换合格的砂轮片。
  跳动过大——主要原因是刀盘,或主轴加工精度不好,处理办法:更换刀盘或主轴。
  温升过大——主要原因,一是主轴冷却不好,处理办法:检查冷却水压力、水温和水量是否正常。二是电机过载发热导致,主要原因是小马拉大车,主轴功率偏小;处理办法:降低加工范围,或则更换功率大的主轴。
  电流过大——一是过载,二是电机质量不好。处理办法:修理或更换主轴。
  噪声过大——主要是气流噪声。处理办法:修理或更换主轴。
  耗气量过大——主要是主轴气路密封不好漏气,或轴系配合间隙过大。处理办法:修理或更换主轴。
  轴系热串动大——现象是,工件冷却水开和停,主轴刀片轴向位移大,主要原因是主轴内部冷却效果不好,或着是主轴内部冷却结构不先进,导致冷却效果不好,处理办法:修理或更换主轴。
  
 
  
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