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如果影响到涂胶显影机的生产速率,可以做哪些方面的改进
发布时间:2020-07-28 点击次数:77次
  涂胶显影机具有可编程阀,它可以使单注射器试剂滴胶按照蚀刻,显影和清洗应用的要求重复进行,如冲洗(通常是去离子水或溶剂),然后干燥(通常是氮气)等后的处理步骤。采用此序贯阀门技术的晶圆片和管道在完全干燥的环境中开通和关闭处理过程。隔离和独立的给水器可处在静态的位置还可以盖内调节。还有可选择的动态线性或径向滴胶的特性。
  涂胶显影机加热位置都是贴在热板上,透过热传导的方式对晶圆进行加热,每个热板同时只有一个加热温度。若遇到温度改变也即晶圆需要经过不同的工艺温度的处理时,就会需要时间来做温度的切换,如果遇到温度落差比较大的时候,升降温的过程中晶圆将会停止传送,这会严重的影响到生产速率。
  晶圆在加热时放置在所述顶针的顶部,所述热板提供加热源,从所述热板的表面往上的空间范围内在抽气气流的作用下温度逐渐降低,通过所述步进马达控制所述顶针顶部的位置来设定所述晶圆所处的空间位置并进而设置所述晶圆的工艺温度。
  进一步的改进是,所述顶针的根数为至少3根。
  进一步的改进是,所述晶圆的工艺温度包括多个。
  进一步的改进是,所述热板的表面的温度高,所述晶圆的工艺温度小于等于所述热板的表面温度。
  进一步的改进是,所述晶圆位于所述热板表面时,所述热板通过热传导方式、对流和辐射的方式对所述晶圆加热。
  涂胶显影机的日常维护您知道有哪些吗?每天机器工作完毕后请安排大约在15分钟内对机器进行清洗。
  1、切断电源和水源,使用清洗瓶灌满干净的清水,喷口对准液面以上的辊轴和齿轮轻轻喷些清水以冲洗附着在部件上的药液结晶。
  2、使用干净的毛巾擦拭辊轴,药槽上盖内面,前输版台以及机身外壳。
  3、使用清水冲洗胶辊,去除残留在胶辊上的胶水以免胶水粘结影响机器的下次工作。
  4、排干水槽内的水,防止水体中的微生物导致水质变差。
  注意∶绝不能使用粗糙坚硬的器具清洗胶辊,以防划伤或损坏胶辊表面。
  
电话:400-8800298
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