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等离子体处理仪处理过程属于干法处理,能达到什么意义呢

发布时间:2021-03-17      点击次数:728
  等离子体处理仪是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态,利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。
  等离子体是指电离气体,是电子、离子、原子、分子或自由基等粒子组成的集合体。清洗时高能电子碰撞反应气体分子,使之离解或电离,利用产生的多种粒子轰击被清洗表面或与被清洗表面发生化学反应,从而有效地清除各种污染物;还可以改善材料本身的表面性能,如提高表面的润湿性能和改善膜的粘着力等,这在许多应用中都是非常重要的。
  等离子体处理仪具有以下明显优点:
  (1)处理温度低,处理时间短,节约能耗,可缩短工艺流程;
  (2)处理过程中不使用酸碱等化工原料,避免了高温潮湿的生产环境;
  (3)处理深度仅为数百埃到几纳米,不影响基体的固有性质;
  (4)处理过程属于干法处理,可大幅降低水资源消耗,对节约水资源有重要的社会经济意义;
  (5)处理过程中无三废排放,既保护了环境,又节约了企业的治污费用,符合国家的环保政策;
  (6)可采用不同的气体介质进行处理,对材料终的表面化学结构和性质有较好的可控性。
  等离子体处理仪的用途
  (1)医用材料研究,主要为研究和开发企业或研究所;
  (2)电子领域,应用较为广泛,如电路板等;
  (3)生物芯片领域;
  (4)高分子材料研究或开发单位;
  (5)精密研究的清洗、除污。保证仪器的正常使用;
  (6)光学材料的开发和研究;
  (7)电化学单位,进行表面处理的单位;
  (8)其他主要进行表面处理的单位。
  
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