德国Diener等离子清洗机等离子刻蚀物的处理

 

　　一、德国Diener等离子清洗机金属表面去油污并清洗

　　

　　金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、键合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到*洁净和无氧化层的表面。在这种情况下的等离子处理会产生以下效果：

　　

　　1.1灰化表面有机层

　　

　　表面会受到物理轰击和化学处理（氧下图）

　　

　　在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发

　　

　　污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空泵抽出

　　

　　紫外辐射破坏污染物

　　

　　因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。

　　

　　1.2氧化物去除

　　

　　金属氧化物会与处理气体发生化学反应

　　

　　这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合气体。有时也采用两步处理工艺。步先用氧气氧化表面，第二步用氢气和氩气的混合气体去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。

　　

　　1.3焊接

　　

　　通常，印刷线路板(PCB)在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。

　　

　　1.4键合

　　

　　好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洗。

　　

　　二、德国Diener等离子清洗机等离子刻蚀物的处理

　　

　　在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相（例如在使用氟气对硅刻蚀时，下图）。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料）。

　　

　　等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积提高粘合强度。