欢迎来到迈可诺技术有限公司网站!【Harrick PDC-002 扩展型等离子清洗机】——微流控研究者的理想伙伴
近日,香港城市大学的研究团队在国际期刊 Micromachines 上发表了一项前沿成果,题为 “Real-Time Biophysical Phenotyping and Sorting of Transiting Cells Along a Constriction Microchannel" -。该研究开发了一款集成阻抗传感与微通道结构的微流控平台,实现了单细胞的无标记实时检测与分选,分选准确率达到 84% 。
在这一高精度微流控器件的制造过程中,Harrick PDC-002 扩展型等离子清洗机发挥了关键作用——研究团队使用 PDC-002 对 PDMS 流道层与电极基底进行空气等离子处理,完成不可逆键合。这正是 Harrick Plasma 设备在微流控研究中的典型应用场景:表面活化与键合前处理。

📌 微流控芯片制造为什么离不开等离子处理?
PDMS(聚二甲基硅氧烷)是微流控芯片的材料之一,但其表面天然疏水,难以与玻璃、硅片或其他 PDMS 层形成牢固结合。通过氧等离子体或空气等离子处理,PDMS 表面生成硅羟基(Si-OH),实现亲水性转变和不可逆键合。Harrick PDC-002 正是完成这一关键步骤的理想工具。

🔬 Harrick PDC-002 核心参数
参数 | 规格 |
型号 | PDC-002(230V)/ PDC-002-CE(CE认证) |
清洗舱 | 直径6英寸 × 长6.5英寸(152mm × 165mm)耐热玻璃舱体 |
射频频率 | 13.56 MHz |
功率档位 | 低档 7W / 中档 11W / 高档 30W |
最大RF功率 | 30W |
整机尺寸 | 11"H × 18"W × 9"D(279×457×228mm) |
输入电源 | 220V / 50Hz |
舱盖 | 铰链式,带磁力锁和可视窗口 |
气体控制 | 1/8″ NPT 针阀 + 三通阀 |
冷却 | 主动风扇冷却 |
✅ 核心优势
三档可调功率:低、中、高三档满足从温和清洗到高强度刻蚀的不同需求
大容量舱体:直径6英寸的 Pyrex 玻璃舱,可容纳6英寸硅片及各类微流控芯片
精准气体控制:针阀与三通阀实现气体流量与腔体压力的灵活调节
安全易用:CE安全认证,无射频辐射;可视窗口实时观察等离子状态
扩展灵活:可选配 PlasmaFlo™ 气体混合器(双路气体定量控制)、样品托盘
🎯 主要应用领域
微流控芯片:PDMS-玻璃、PDMS-PDMS 不可逆键合
表面清洗:去除光学元件、半导体、生物芯片表面的有机污染物
表面活化:提高材料浸润性、粘附性与相容性
表面改性:高分子材料表面化学键重组,形成新表面特性
生物医学:医疗器械消毒、生物芯片处理
📦 选配件推荐
PlasmaFlo™ 气体混合器(PDC-FMG-2):双路气体定量混合与腔体压力监控
专用真空泵(PDC-VPE-2):抽速 ≥1.4 m³/hr,极限压力 ≤200 mTorr
石英等离子清洗舱及托盘:适用于高温或特殊工艺需求
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