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哪些因素会影响等离子去胶机的使用功率

发布时间:2021-06-23      点击次数:373
  等离子去胶机等离子去胶影响的因素:
  频率选择:频率越高,氧越易电离形成等离子体。频率太高,以至电子振幅比其平均自由程还短,则电子与气体分子碰撞几率反而减少,使电离率降低。一般常用频率为13.56MHz及2.45GHZ。
  功率影响:对于一定量的气体,功率大,等离子体中的的活性粒子密度也大,去胶速度也快;但当功率增大到一定值,反应所能消耗的活性离子达到饱和,功率再大,去胶速度则无明显增加。由于功率大,基片温度高,所以应根据工艺需要调节功率。
  真空度的选择:适当提高真空度,可使电子运动的平均自由程变大,因而从电场获得的能量就大,有利电离。另外当氧气流量一定时,真空度越高,则氧的相对比例就大,产生的活性粒子浓度也就大。但若真空度过高,活性粒子浓度反而会减小。
  氧气流量的影响:氧气流量大,活性粒子密度大,去胶速率加快;但流量太大,则离子的复合几率增大,电子运动的平均自由程缩短,电离强度反而下降。若反应室压力不变,流量增大,则被抽出的气体量也增加,其中尚没参加反应的活性粒子抽出量也随之增加,因此流量增加对去胶速率的影响也就不甚明显。
  等离子去胶机去除光刻胶就是使用氧气等离子体对光刻胶层进行灰化,反应后生成CO2和H2O,随即被抽走。用等离子清洗机去胶的优点是去胶操作简单、表面干净光洁、无划痕、成本低、环保。
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