等离子去胶机操作中操作人员要做好哪些准备

　　等离子去胶机是我们在微波等离子处理工艺中的新产品。该批次式晶圆灰化设备成本低廉、尺寸适中，特别适用于工厂、科研院所等领域。

　　等离子去胶机操作规程：

　　1、自动切割小车应经空车运转，并选定切割速度；

　　2、使用钍、钨电极应符合JGJ33-2001第12.7.8条规定；

　　3、高频发生器应设有屏蔽护罩，用高频引弧后，应立即切断高频电路；

　　4、应检查并确认电源、气源、水源无漏电、漏气、漏水，接地或接零安全可靠；

　　5、操作人员应站在上风处操作。可从工作台下部抽风，并宜缩小操作台上的敞开面积；

　　6、小车、工件应放在适当位置，并应使工件和切割电路正极接通，切割工作面下应设有溶渣坑；

　　7、应根据工件材质、种类和厚度选定喷嘴孔径，调整切割电源、气体流量和电极的内缩量；

　　8、当空载电压过高时，应检查电器接地、接零和割炬手把绝缘情况，应将工作台与地面绝缘，或在电气控制系统安装空载断路断电器；

　　9、操作人员必须戴好防护面罩、电焊手套、帽子、滤膜防尘口罩和隔音耳罩。不戴防护镜的人员严禁直接观察等离子弧，裸露的皮肤严禁接近等离子弧。

　　等离子去胶机的典型应用

　　去除光刻胶

　　晶圆打胶

　　湿法刻蚀前的晶圆清洁

　　去除SU-8

　　刻蚀钝化层

　　失效分析中的器件开封

　　清洁和表面活化

　　化学微量分析中的低温材料灰化

　　过滤器和滤膜的清洁