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等离子去胶机操作中操作人员要做好哪些准备

发布时间:2020-10-27      点击次数:644
  等离子去胶机是我们在微波等离子处理工艺中的新产品。该批次式晶圆灰化设备成本低廉、尺寸适中,特别适用于工厂、科研院所等领域。
  等离子去胶机操作规程:
  1、自动切割小车应经空车运转,并选定切割速度;
  2、使用钍、钨电极应符合JGJ33-2001第12.7.8条规定;
  3、高频发生器应设有屏蔽护罩,用高频引弧后,应立即切断高频电路;
  4、应检查并确认电源、气源、水源无漏电、漏气、漏水,接地或接零安全可靠;
  5、操作人员应站在上风处操作。可从工作台下部抽风,并宜缩小操作台上的敞开面积;
  6、小车、工件应放在适当位置,并应使工件和切割电路正极接通,切割工作面下应设有溶渣坑;
  7、应根据工件材质、种类和厚度选定喷嘴孔径,调整切割电源、气体流量和电极的内缩量;
  8、当空载电压过高时,应检查电器接地、接零和割炬手把绝缘情况,应将工作台与地面绝缘,或在电气控制系统安装空载断路断电器;
  9、操作人员必须戴好防护面罩、电焊手套、帽子、滤膜防尘口罩和隔音耳罩。不戴防护镜的人员严禁直接观察等离子弧,裸露的皮肤严禁接近等离子弧。
  等离子去胶机的典型应用
  去除光刻胶
  晶圆打胶
  湿法刻蚀前的晶圆清洁
  去除SU-8
  刻蚀钝化层
  失效分析中的器件开封
  清洁和表面活化
  化学微量分析中的低温材料灰化
  过滤器和滤膜的清洁
  
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