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德国AlphaPlasma等离子去胶机主系统全自动运行

发布时间:2017-08-24      点击次数:2904
   德国AlphaPlasma等离子去胶机主系统全自动运行
  
  德国AlphaPlasma等离子去胶机是专门设计用来满足晶圆批处理或单晶片处理,具有广泛应用,从晶圆的光刻胶剥离到表面改性都涉及到。该系列的设备采用PC控制,可以配套不同的等离子源,加热或不加热基片夹具,具有*的能力:可以从PE等离子刻蚀切换到RIE刻蚀模式,也就是说可以支持各向同性和各向异性的各种应用。
  
  德国AlphaPlasma等离子去胶机片匣导轨传送系统:
  
  全自动,无堵赛设计,集成到等离子主系统
  
  片匣通过2层传送带上下载片,提前上载或下载片
  
  通过使用可更换的输送板,搬运系统可以支持较大范围的基片尺寸、框架、舟等
  
  
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