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狭缝涂布流动分析了解狭缝涂布背后的基础理论对于理解操作参数和狭缝几何形状如何相互作用以形成稳定涂层至关重要。高质量涂层只能在特定的涂布窗口内实现,离开此稳定涂布窗口将导致缺陷形成——最终,薄膜将无法涂布。通过了解涂层薄膜中缺陷的根源,可以知道需要改变哪些加工参数和狭缝几何形状以返回稳定涂布区域。在本节中,我们将讨论:改进分布的分流板设计的理论基础溶液如何通过受限制的通道流动产生大的压力梯度涂层弯月面的形状和位置如何受到影响溶液分布(SolutionDistribution)溶...
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狭缝涂布:理论、设计与应用狭缝涂布是一种极其通用的沉积技术,其中溶液通过一个靠近基材表面的狭缝输送到基材上。狭缝涂布方法的一个主要优点是湿膜涂层厚度、溶液流速以及涂层基材相对于涂布头的速度之间存在简单的关系。此外,狭缝涂布能够在大面积上实现极其均匀的薄膜。例如,Ossila狭缝涂布机可以在许多米范围内产生厚度变化低于5%的涂层,并且在100毫米范围内厚度变化小于50微米(0.05%)。狭缝涂布是许多可用于将薄液膜沉积到基材表面的方法之一。与旋涂或浸涂等传统技术相比,狭缝涂...
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棒涂的介绍:方法、理论与应用棒涂是一种简单的湿法加工技术,用于在基材上沉积一薄层溶液。将一根棒或梅尔棒(MayerRod)放置在基材上,并拖过溶液池,导致溶液铺展成薄膜或涂层。棒涂通常用于开发汽车涂料、光伏电池和锂离子电池等应用。棒涂可以手动进行,也可以自动化以提高精度和效率。在自动化棒涂系统(例如Ossila棒涂机中,使用自动涂膜机以均匀速度将棒(如绕线梅尔棒)在基材上移动。根据所用棒的类型,这种涂布方法也被称为刮涂(drawdowncoating)、棒涂(rodcoati...
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退火炉的温场均匀性是决定材料热处理质量的核心参数,直接影响晶粒尺寸、相变行为及残余应力分布。本文系统探讨温场均匀性的关键影响因素、优化策略及工业应用案例,为高精度退火工艺提供理论指导与技术解决方案。1.温场均匀性的技术意义与评价指标1.1均匀性对材料性能的影响·半导体晶圆:温度偏差±5℃可导致掺杂浓度波动10%,载流子迁移率下降20%(参考IEEETrans.Semicond.Manuf.,2019)。·金属板材:局部温差20℃引发非均匀再结晶,拉伸强度分散度增...
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快速退火炉的选型需要综合考虑工艺需求、材料特性、设备性能以及预算等因素。以下是选型时需要关注的关键参数和步骤:---**1.明确工艺需求**•材料类型:金属、半导体(如硅、GaN)、玻璃、陶瓷等,不同材料对温度范围和气氛的要求差异较大。•退火目的:消除应力、再结晶、掺杂激活(如半导体离子注入后的退火)、改善材料性能等。•工艺参数:•温度范围:最高温度需覆盖材料退火需求(例如半导体退火可能需要1200°C以上,金属可能更低)。•升温速率:快速退火通常要求很高升温速度(如100°...
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如何选择晶圆划片机?关键技术与选型指南在半导体制造、MEMS器件封装、光电子芯片加工等领域,晶圆划片机(WaferDicingMachine)是将整片晶圆切割成独立芯片(Die)的核心设备。其性能直接决定芯片的切割质量、生产效率和成本。然而,面对市场上种类繁多的划片机(如机械划片、激光切割、等离子蚀刻等),如何选择适合的机型?本文将从技术原理、应用场景和关键参数出发,系统解析选型逻辑。一、明确需求:四大核心问题在选择划片机前,需明确以下基础问题:1.加工材料类型传统硅基晶圆:...
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如何将整片晶圆分割成独立的芯片呢?将硅片分裂成小片的过程通常称为“划片”或“切割”(Dicing),这是半导体制造中的关键步骤,用于将晶圆分割成独立的芯片(die)。以下是几种常见方法及注意事项:1.机械划片(DicingSaw)原理:使用高速旋转的金刚石刀片或硬质合金刀片切割硅片。步骤:贴膜:将硅片背面粘贴在蓝膜(UV胶膜)上,固定位置。划片:用划片机沿预先设计的切割道(切割线)进行切割。清洗:去除切割产生的碎屑(可用去离子水或超声波清洗)。分离:拉伸蓝膜使小芯片分离。优点...