SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系统是MicroXact的半自动探针台，设计灵活，易于使用，可用于高效设备表征，晶圆级可靠性测试和故障分析。这些半自动探针台系统设计用于支持多200mm晶圆的手动和半自动探测。

MicroXact的半自动探针台提供多种选择，包括加热/冷却晶圆卡盘，标准或数字显微镜以及可编程平台分度，为您的所有高效设备表征提供经济高效且易于使用的解决方案。晶圆级可靠性测试需求。这些半自动探针台有三种选择（标准，高精度和高速）。

LCS-4000系列分析探针台配有激光切割系统 带有集成激光切割系统的LCS-4000探针台为用户提供了半导体诊断切割，失效分析，修整，标记和顶层去除的大灵活性。所有这些功能都可以在微观层面上进行，所有这些都在这一系统上进行，这提供了非常易于使用的高水平性能。

A4P四点探针自动电阻率测绘系统 A4P系列晶圆电阻率映射器使用经过验证的行业标准，可以快速，准确，可靠地测量样品电阻率分布。MicroXact的四点探针通过使电流通过四点探头的外部点并测量内部点的电压来测量半导体晶圆层的平均电阻。然后可以通过将薄层电阻乘以薄膜的厚度来找到电阻率的值，即赋予其电阻的材料的性质。

ossila四点探针台是一款易于使用的工具，用于快速测量材料的薄层电阻，电阻率和电导率。 通过使用我们自己的源测量单元，我们能够创建一个低成本的系统，使测量范围更广泛。 探头采用弹簧加载接触，而不是尖锐的针头，防止损坏精密样品，如厚度在纳米左右的聚合物薄膜。

经济高效，稳定，可靠，方便的改善在极低的真空和温度下对器件和电路的探测。内置振动隔离，智能热管理，使用低排放的材料，*密封性，使该系统非常适合一系列需要更好的真空水平的应用，如石墨烯的研究，分子电子学等的，系统采用闭式循环制冷机和专有的热管理，可以经济快速的操作。内置的隔振Z小化振动符合行业标准。超稳定的微操纵满足设备探针*的准确和可重复的接触。