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A4P四点探针自动电阻率测绘系统

A4P系列晶圆电阻率映射器使用经过验证的行业标准，可以快速，准确，可靠地测量样品电阻率分布。MicroXact的四点探针通过使电流通过四点探头的外部点并测量内部点的电压来测量半导体晶圆层的平均电阻。然后可以通过将薄层电阻乘以薄膜的厚度来找到电阻率的值，即赋予其电阻的材料的性质。

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A4P四点探针自动电阻率测绘系统产品概述：

A4P四点探头采用100mm，150mm，200mm或300mm系统，无需维护且易于使用。该系统有多种选择，包括宽范围热测试，非标准材料的定制卡盘和几乎适用于任何应用的4点探针。

电阻率测量自动化软件

A4P-200-PLUS自动化软件允许使用电阻率测绘系统进行半自动或全自动测试。该接口设计简单但功能强大，允许用户轻松设置几乎任何类型晶圆结构的自动测试程序。基于LabView的软件采用逻辑结构，可轻松集成客户自己的测试和测量设备。该软件可以安装在任何装有Windows XP或更高版本操作系统的PC上。

A4P四点探头功能

系统提供快速，准确的测量并且非常用户友好。

直观的基于LabView的开源软件提供各种数据处理选项以及结果的二维和三维映射。

可以表征的各种材料和结构。

宽电阻率测量和薄层电阻范围。

温度范围：从低于-60°C到超过300°C。

可选择1种，5种，9种，25种，49种或121种测量模式以及自定义电阻率测量模式。

可调式真空吸盘适用于5mm至300mm的样品尺寸。

ASTM，SEMI或简单输出的快速测量模式。

点击或点击或直接坐标输入晶圆导航。

与Jandel探头兼容。

该系统的真空或受控环境版本可用于扩展温度测试的电阻率测试。

自动化软件功能

在大多数情况下，所有自动化，测量和数据采集都可以通过在简单的笔记本电脑上运行的软件包进行管理。

不需要昂贵的硬件。

软件允许用户生成测量图案图。

软件允许用户生成结果的2D和3D地图。

软件输出电阻和电阻率或厚度测量值。

软件内置了热卡盘的完全控制，允许复杂且高度可定制的测试序列。

该软件是开源的，客户可以对其进行定制以满足任何特定需求。

MicroXact团队与客户一起努力，尽快开发出的自动化解决方案。

A4P 4点探头规格

A4P-200-TC

以下规格适用于标准配置。在大多数情况下，每个A4P 4点探针系统都可以定制，以超过这些值。

晶圆尺寸高达300mm

真空吸盘多区真空

兼容的探头 Jandel探头

馈通终端 BNC，Triax或香蕉插头

自动化软件基于LabView，与Windows兼容

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