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MicroXact高精度半自动化探针台

型    号:SPS-HP系列
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SPS 2600-HP,SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系统是MicroXact的半自动探针台,设计灵活,易于使用,可用于高效设备表征,晶圆级可靠性测试和故障分析。这些半自动探针台系统设计用于支持最多200mm晶圆的手动和半自动探测。

MicroXact高精度半自动化探针台产品概述:

SPS 2600-HP,SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系统是MicroXact的半自动探针台,设计灵活,易于使用,可用于高效设备表征,晶圆级可靠性测试和故障分析。这些半自动探针台系统设计用于支持最多200mm晶圆的手动和半自动探测。
 

高分辨率复合显微镜。

偏光显微镜。

广泛的相机选择。

射频可偏置卡盘和屏蔽罩。

抛光镀金可调节真空吸盘。

超完全真空泵。

温度范围为-65°C> 400°C的热卡盘(也可以使用更高的温度)。

适用于超声波和激光切割的系统。

可选择XY平移台和超坚固的焊接钢桥,用于高分辨率显微镜。

高分辨率复合显微镜。

偏光显微镜。

广泛的相机选择。

射频可偏置卡盘和屏蔽罩。

抛光镀金可调节真空吸盘。

超完全真空泵。

温度范围为-65°C> 400°C的热卡盘(也可以使用更高的温度)。

适用于超声波和激光切割的系统。

可选择XY平移台和超坚固的焊接钢桥,用于高分辨率显微镜。
 

型号SPS-12000-HPSPS-2800-HPSPS-2600-HP
晶圆尺寸高达300mm高达200mm高达100mm
电机类型步进电机
XY舞台行程高达300mmx300mm高达200mmx200mm高达100mmx100mm
馈通终端BNCTriax或香蕉插头
系统尺寸101CMx91CMx 88CM122CMx122CMx 92CM78CMx80CMx 58CM
产品相关关键字: 半自动探针台 测量材料表面电阻 薄层电阻测量系统 MicroXact 标准半自动探针技术

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