咨询热线

18971121198

当前位置:首页   >  产品中心  >  探针台  >  MicroXact探针台  >  SPS-HP系列MicroXact高精度半自动化探针台

MicroXact高精度半自动化探针台

简要描述:SPS 2600-HP,SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系统是MicroXact的半自动探针台,设计灵活,易于使用,可用于高效设备表征,晶圆级可靠性测试和故障分析。这些半自动探针台系统设计用于支持多200mm晶圆的手动和半自动探测。

  • 产品型号:SPS-HP系列
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-04-16
  • 访  问  量:1192

详细介绍

SPS 2600-HP,SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系统是MicroXact的半自动探针台,设计灵活,易于使用,可用于高效设备表征,晶圆级可靠性测试和故障分析。这些半自动探针台系统设计用于支持多200mm晶圆的手动和半自动探测。
 

高分辨率复合显微镜。

偏光显微镜。

广泛的相机选择。

射频可偏置卡盘和屏蔽罩。

抛光镀金可调节真空吸盘。

超*真空泵。

温度范围为-65°C> 400°C的热卡盘(也可以使用更高的温度)。

适用于超声波和激光切割的系统。

可选择XY平移台和超坚固的焊接钢桥,用于高分辨率显微镜。

高分辨率复合显微镜。

偏光显微镜。

广泛的相机选择。

射频可偏置卡盘和屏蔽罩。

抛光镀金可调节真空吸盘。

超*真空泵。

温度范围为-65°C> 400°C的热卡盘(也可以使用更高的温度)。

适用于超声波和激光切割的系统。

可选择XY平移台和超坚固的焊接钢桥,用于高分辨率显微镜。
 

型号SPS-12000-HPSPS-2800-HPSPS-2600-HP
晶圆尺寸高达300mm高达200mm高达100mm
电机类型步进电机
XY舞台行程高达300mmx300mm高达200mmx200mm高达100mmx100mm
馈通终端BNCTriax或香蕉插头
系统尺寸101CMx91CMx 88CM122CMx122CMx 92CM78CMx80CMx 58CM

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
迈可诺技术有限公司
  • 联系人:叶盛
  • 地址:洪山区珞狮南路147号未来城A栋
  • 邮箱:sales@mycroinc.com
  • 传真:
关注我们

欢迎您关注我们的微信公众号了解更多信息

扫一扫
关注我们
版权所有©2024迈可诺技术有限公司All Rights Reserved    备案号:    sitemap.xml    总访问量:480881
管理登陆    技术支持:化工仪器网