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半自动旋涂显影刻蚀机

简要描述:LCS专为晶圆和平面基片的半自动旋涂和开发而设计,将是试点项目、研究所和研发的最佳选择。 它保证了高均匀性和可重复性以及简单的操作和维护。 它可以处理最大 150 毫米的晶圆或最大 125x125 毫米的方形基片。

  • 产品型号:LCS
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-02-24
  • 访  问  量:131

详细介绍

半自动旋涂显影刻蚀机 LCS


LCS专为晶圆和平面基的半自动旋涂和开发而设计,将是试点项目、研究所和研发的最佳选择。 它保证了高均匀性和可重复性以及简单的操作和维护。 它可以处理最大 150 毫米的晶圆或最大 125x125 毫米的方形基

为了与试剂等化学品相兼容腔体材质是 POM、阳极氧化铝、聚丙烯、不锈钢或 PTFE 制成。

旋涂工艺程序通过触摸屏进置。 用户可以编写多达 20 个步骤的 50 个程序段。每一步可设置不同的速度、加速度和时间参数。

 

项:

· 背面冲洗 (BSR)

· 晶圆去边 (EBR)

· 气动注射器分配系统

· 电动注射器分配系统

· 带数字仪表和压力控制的加压瓶分配系统

· 各种真空或机械

· 晶圆对准工具

· 腔体材质由阳极氧化铝、聚丙烯或 PTFE 制成

 

特征:

· 拥有触摸屏界面

· 多达 5 条试剂管路

· 具有可编程分配高度的电动臂

· 占地面积小 600x625 毫米

· 自动透明盖

· 多种尺寸旋涂

· 盘更换快速简便

· 处理腔室易清洗

 

技术参数:

晶圆尺寸最大

150 mm

基片尺寸最大

125x125 mm

转速范围

0 - 10 000 rpm

试剂管路

最多 5 个

存储的程序

几乎无限

电源电压

230 VAC 50/60Hz 15A

CDA 供应压力

4-5 bar

CDA 连接管

8 mm

排气

55-60 m3

排气接头

50 mm

排水管

12 mm

外形尺寸

600x625x1300 mm

重量

130 kg

 


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