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详细介绍
Futurrex产品优势:
1、Futurrex光刻胶黏附性好,无需使用增粘剂(HMDS)
2、负性光刻胶常温下可保存3年
3、150度烘烤,缩短了烘烤时间
4、单次旋涂能够达到100um膜厚
5、显影速率快,100微米的膜厚,仅需6~8分钟
正性光刻胶
A、 粘度增强正胶(PR1系列)
应用:蚀刻、反应离子刻蚀、离子注入、电镀;
特征:PR1系列正胶耐热温度=110℃;
品牌 | 产地 | 型号 | 厚度 | 耐热温度 | 应用 |
Futurrex | 美国 | PR1-500A | 0.4μm~0.9μm | 耐热温度=110 ℃ | 湿刻、反应离子束刻蚀、离子植入、电镀 |
PR1-1000A | 0.7μm~2.0μm | ||||
PR1-1500A | 1.3μm~3.0μm | ||||
PR1-2000A | 1.7μm~4.0μm | ||||
PR1-4000A | 3.7μm~10.0μm | ||||
PR1-12000A | 10.0μm~25.0μm | ||||
Micro Resist | 德国 | ma-P 1200系列 | 0.5~50μm胶厚 | 非常适合作为刻蚀掩模,*的抗干刻、湿刻性能; 光刻胶图案良好的热稳定性;碱性水溶液下显影; |
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