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工作原理
Colibrì系统完全由微控制器控制。 利用该系统,可以简单地通过执行可由用户编辑的9个配方中的一个来执行处理。 使用高精度针阀,将受控的气流引入处理室。 将低频信号(50kHz)施加到腔室内的电极,这与气体分子相互作用从而触发等离子体。 产生的等离子体提供与待处理基板表面的*单层相互作用的反应离子物质。 通过对工艺参数(气体流量,信号强度,持续时间......)进行处理,可以改变生成的过程。
产品功能
▪台式等离子系统,简单通用
▪最多可处理十种不同的可编辑配方
▪*结果的*性
▪长期可靠性
▪使用主要品牌组件
技术规格
尺寸 宽 x 长 x 高 450 x 370 x 180 mm
净重16 Kg (不含真空泵)
净空右,左,前 - 600mm,后 - 300mm
产品相关关键字: 等离子表面处理 常压等离子处理 大气等离子处理 大气常压等离子 常压等离子处理 |