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系统的技术描述
Heron 80是一款大尺寸独立等离子系统,专为表面清洁,改装和激活而设计。 它可以在不同的材料上运行,如金属,塑料,陶瓷,纸张等。 下面描述的特性使Heron 80成为小型生产或研发环境的简单通用解决方案。
主机由不锈钢制成,带有可拆卸的后面板和侧面板,便于维护或故障排除。 外部装饰是“轻刷”。它也可以安装在带有“穿墙”配置的洁净室中。
Heron 80的控制系统基于配备触摸屏HMI操作面板的先进PLC。 由于用户友好的图形界面,可以直接操作系统组件或让PLC根据用户可编辑的配方执行过程。 PLC具有快速扫描时间,可连续测量所有系统参数,以确保均匀可靠的过程。 无法避免的手动处理是装载/卸载样品的步骤。
Heron 80是等离子体反应器[1]电容耦合并且包括圆柱形处理室,其内部具有几个同心笼电极。
他的处理室由铝制成。 由于表面上形成了天然的氧化铝,铝可以在许多工艺气体(包括氟化蚀刻气体)的存在下使用,这一特性使这些反应器适用于大多数反应等离子体环境(即蚀刻,灰化...)。 没有焊接可确保更好的密封,从而防止过程中的外部污染
产品特点
▪成本低
▪触摸屏显示提供实时的所有主要信息,出色的过程控制和快速分析
▪能够处理多达十种不同的可编辑配方
▪*结果的*性
▪数据记录功能,频率<0.5 Hz,用于过程的历史条件
▪出色的过程控制和长期可靠性和稳定性
▪使用的主要品牌组件,如真空计和质量流量控制器(MKS仪器)
▪射频功率可在1W至600W范围内调节
技术规格
尺寸 宽 x 长 x 高 700 x 600 x 1750 mm
净重 130 Kg (不含真空泵)
净空 右,左,前 - 600mm,后 - 254mm
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