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微米级光学薄膜测厚仪

简要描述:品牌:希腊ThetaMetrisis
名词:膜厚仪 膜厚仪、测厚仪、干涉仪、厚度测量仪
干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动,而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起,所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量,从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精

  • 产品型号:FR-uProbe
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2019-05-31
  • 访  问  量:745

详细介绍

FR-uProbe是涂层表征应用的解决方案,要求光斑尺寸小*小微米,例如微图案表面,具有不规则表面的样品,其表现出高水平的散射光和许多其它。使用FR-uProbe,在UV / Vis / NIR上的局部薄膜厚度,光学常数,反射率,透射率和吸光度测量只需点击即可。

 

FR-uProbe简单地连接到大多数商用光学显微镜的C接口适配器,并提供:

o实时光谱测量

o薄膜厚度,光学性能,非均匀性测量

o使用集成的USB连接和高质量彩色相机进行成像

o显微镜本身的性能不受影响

工作原理

白光反射光谱(WLRS)测量在一定波长范围内从薄膜或多层叠堆反射的光量,入射光垂直于(垂直于)样品表面。

通过来自界面的干涉产生的测量的反射光谱用于确定自支撑和支撑(在透明或部分/全反射基板上)薄膜堆叠的厚度,光学常数(nk)等。

 

应用

o大学和研究实验室

o半导体(氧化物,氮化物,硅,抗蚀剂等)

o MEMS器件(光刻胶,硅膜等)

o LED

o数据存储

o阳极氧化

o弯曲基板上的硬/软涂层

o聚合物涂料,粘合剂等

o生物医学(聚对二甲苯,气球壁厚等)

 

特征

o   单击分析(无需初始猜

o   动态测

o   集成USB

o   保存视频进行演示

o    350+不相同的材料

o    3年免费软件更新

o   Windows 7/8/10上运行

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