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便携式光学膜厚仪

简要描述:品牌:希腊ThetaMetrisis
名词:膜厚仪 膜厚仪、测厚仪、干涉仪、厚度测量仪
干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动,而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起,所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量,从而测得与此有关的其他物理量。

  • 产品型号:FR-portable
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2019-06-05
  • 访  问  量:3370

详细介绍

 

便携式膜厚仪主要由以下系统组成:

Α白炽-LED混合集成式光源系统,通过内嵌式微处理器控制,使用寿命超过20000小时。

小型光谱仪,光谱范围370nm –1050nm,分辨精度可达3648像素, 16位级 A/D 分辨精度;配有USB通讯接口;

Β) FR-Monitor膜厚测试软件系统,

可精确计算如下参数:

1)单一或堆积膜层的厚度;

2)静态或动态模式下,单一膜层的折射率;本软件包含了类型丰富的材料折射率数据库,可以有效地协助用户进行线下或者在线测试分析。本系统可支持吸收率,透射率和反射率的测量,还提供任何堆积膜层的理论性反射光谱,一次使用授权,即可安装在任何其他电脑上作膜厚测试后的结果分析使用。

C) 参考样片:

a) 经校准过的反射标准硅片;

b) 经校准过的带有SiO2/Si 特征区域的样片;

c) 经校准过的带有Si3N4/SiO2/Si特征区域的样片;

D) 反射探针台和样片夹具

可处理大的样品尺寸达200mm, 包含不规则的尺寸等;

手动调节可测量高度可达50mm

可针对更大尺寸订制样片夹具;

Ε) 反射率测量的光学探针

内嵌系统6透射光探针200μm, 1组反射光探针200μm

F) 附件

FR-portable透射率测量套件;

Thickness measurement range

12nm – 90μm

Refractive Index calculation

P

Thickness measurement Accuracy

0.2% or 1nm

Thickness measurement Precision

0.04nm or 1‰ (0.01nm)

Thickness measurement stability

0.02nm

Sample size

1mm to 200mm and up

Spectral Range

400nm – 1100nm

Working distance

3mm-20mm

Spot size

0.35mm (diameter of the reflectance area)

Light Source Lifetime

20000h

Wavelength resolution

0.8nm

Number of Layers Measured

Max. 5 layers

Measurement time (max acquisition speed)

10ms/point

A/D converter

16 bit

Power

USB – supplied

Dimensions

300mm x 110mm x 40mm

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