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MicroXact手动探针台

简要描述:SPS-1000,SPS-2000和SPS-2200系统是MicroXact首要的手动探针台,设计灵活且易于使用。这些手动探针系统的高性能和经济性使它们属于自己的一类。凭借高达200mm的晶圆功能,DC或RF探头和可选的热卡盘以及各种屏蔽选项,我们的探针台可用于广泛的应用,例如故障分析,可靠性测试,IV / CV测试,低目前的测试,微波和射频表征等等。

  • 产品型号:SPS手动系列
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2019-05-22
  • 访  问  量:538

详细介绍

使用MicroXact手动探针台进行IVCV和低电流测试,可提供半导体器件表征所需的精确和精确测量。由于提供多种选项和MicroXact手动探针台的灵活性,晶圆上的晶圆级电容和低电流测试从未如此简单。

特征

手动平台组装可提供额外的预载滑块,便于装载和卸载晶圆或样品。

手动控制压板和卡盘Z位置,进行粗调和微调。

光滑的铸钢压板可容纳多达10个磁性或真空定位器。

同轴和三轴卡盘以及外壳可用于低泄漏电流测试。

标准吊杆安装组件,用于显微镜的全范围XYZ定位。

可用的高分辨率微定位器,带80TPI螺钉,用于探针的μm级定位

可用的高分辨率微定位器,带80TPI螺钉,用于探针的μm级定位。

可用的RF选项包括可定制的RF探头,RF卡盘和屏蔽罩。

型号

SPS-1000

SPS-2000

SPS-2200

晶圆尺寸

高达150mm

高达100mm

高达200mm

XY舞台行程

100mmx100mm150mmx150mm标准

高达125mmx125mm

高达200mmx200mm

系统尺寸

 

56厘米宽x 51厘米深x 61厘米高

92米宽x 122厘米深x 92厘米高

系统重量

 

35kg45kg,具体取决于所选的选项

~70公斤

 

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