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Microchem SU-8 2000 系列

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SU-8 2000化学放大,i线抗蚀剂非常适合制造 permanent性器件结构。 这些负色调,环氧基抗蚀剂表现出优异的耐化学性和低的杨氏模量,使其成为制造微/纳米结构的理想选择,如悬臂,膜和微通道。

Microchem SU-8 2000 系列产品概述:

MicroChem环氧树脂抗蚀剂由化学放大的环氧基负性抗蚀剂组成,它们具有高度功能性,光学透明性和可接近UV(365nm)辐射的可成像。固化膜或微结构是对溶剂非常抵扣的,酸和碱以及具有优异的热稳定性和机械稳定性,使其非常适合制造permanent结构,如像素墙,流体通道和喷嘴,微阵列和间隔物。

材料的使用:

  • PDMS模具制造
  • 结构部件,如微流体通道,显示像素阵列,墙壁和介电层
  • 干蚀刻掩膜
  • 快速成型

材料属性:

  • 旋涂薄膜从< 1µm>75µM
  • 耐高温和耐化学性好
  • 光学透明
  • 兼容i-Line成像设备

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

产品相关关键字: SU-8 2001 SU-8 2002 SU-8 2005 SU-8 2007 SU-8 2010

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