远程等离子清洁的原理 远程等离子源需安装在要被清洁的真空腔室上，控制器向远程离子源提供射频能量。射频电磁场能激发等离子体，分解输入气体而产生氧或氢的活性基，活性基会扩散到下游的真空腔室，并与其中的污染物发生化学反应，反应产物能轻易地被抽走。远程等离子清洗机可同时清洁真空系统和样品。

美国PIE出品的EM远程等离子清洁仪，广泛用于SEM扫描电镜,FIB聚焦离子束双束电镜,TEM透射电镜,XPS_X射线光电子能谱分析仪,ALD原子层沉积系统,CD-SEM, EBR, EBI, EUVL和其它高真空系统，可同时清洁真空腔室和样品！

品牌：PIE 型号：Tergeo EM Tergeo EM型样品杆清洁等离子清洁仪 *的双清洗模式（immersion和downstream）能够处理各种不同的样品，从严重污染的电子光学孔径光阑到各种脆弱易损样品，如石墨烯、碳纳米管、类金刚石碳膜以及多孔碳支持膜铜网上的TEM样品。石英样品托板上的孔洞可以安装标准SEM样品托。特别设计的适配器可以清洁不同厂家的TEM样品杆。

专为去除SEM & TEM样品的碳氢污染而设计。*的双清洗模式（immersion和downstream）能够处理各种不同的样品，从严重污染的电子光学孔径光阑到各种脆弱

Tergeo EM型SEM及TEM样品/样品杆清洁等离子清洁仪 美国PIE Scientific专注研发*实验室用等离子仪器，用于SEM/TEM样品清洁、光刻胶蚀刻、等离子体增强沉积、表面处理与活化。我们的宗旨是：将半导体和核工程研究中开发的等离子技术集成到经济实用的实验室用等离子仪器。

Colibr大气压等离子表面处理仪，专为表面清洁，改性和活化而设计。 它可以在不同的材料上运行，如金属，塑料，陶瓷，纸张等。 用户友好的控制界面使Colibrì成为小型生产或研发环境的简单通用解决方案。