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TEM透射电镜等离子清洗机

型    号:Tergeo-EM
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专为去除SEM & TEM样品的碳氢污染而设计。特有的双清洗模式(immersion和downstream)能够处理各种不同的样品,从严重污染的电子光学孔径光阑到各种脆弱

TEM透射电镜等离子清洗机产品概述:

专为去除SEM & TEM样品的碳氢污染而设计。特有的双清洗模式(immersiondownstream)能够处理各种不同的样品,从严重污染的电子光学孔径光阑到各种脆弱易损样品,如石墨烯、碳纳米管、类金刚石碳膜以及多孔碳支持膜铜网上的TEM样品。石英样品托板上的孔洞可以安装标准SEM样品托。

特点:

1. 系统具有双等离子源。浸入式等离子源用于主动表面处理、光刻胶蚀刻。远程式等离子源用于温和的污染清除以及脆弱易损样品的表面活化

2. 13.56MHz高频射频发生器

3. 7英寸触摸屏控制界面,全自动操作

4. 标配75W版本,可选150W版本

5. 标配2路气体输入,可选第三路气体输入

6. 可选与FEIJEOLHITACHITEM样品杆配套的专用适配器

7. AC输入:通用(110~230V, 50/60Hz)

三、技术参数

1、控制系统

1)操作界面:7英寸电阻触摸屏操作界面,支持多种工作方式。

2)程序控制:可编程,总共有20个程序,每个程序有3个清洁步骤

2、反应腔体

1)腔体材质:圆柱形石英玻璃舱。

2)腔体尺寸:内径110毫米,外径120毫米,深度280毫米,壁厚:5毫米。

3)前观测窗:前方开口,5毫米厚石英玻璃可视窗口,可观测内腔等离子状态,并带有防真空泄漏和避免高压的联锁装置,有效保护操作的安全性;

3、射频电源

1)射频频率:13.56MHz

2)射频功率:标配0~75W;可选配0~150W。从0瓦到150瓦之间以1瓦间距连续可调,自动阻抗匹配。

3)射频输出可以工作在脉冲方式,脉冲比可以从1/255调到255/255(连续输出)。

4、等离子源

1)等离子强度探测器实时测量等离子源强度。

2)电阻耦合电离方式。

3)外置电极设计,高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。

5、气体控制

1)气路控制:标配一路MFC;可选配三路MFC

2)质量流量计可以在0~100sccm之间控制气体流量;

3)一路(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体。

4)自动放气流程控制可以保护真空泵不受影响。

5)高性能气压计可以测量1e-4 Torr到大气压之间的气压。

66mm气体接口。

6、真空系统

1KF25法兰接口用来连接真空泵。

2)真空要求:抽速:>1.7m3/h

3)最低气压:<=200mTorr. 

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