线宽测量

COMEF是一款具备特殊功能的图像处理软件，专为高精度测量线宽和线距而设计。通过灰度值算法，它能以亚像素级精度测量硅晶圆上导线或结构的宽度与间距。

它应用了光学成像可逆的原理。因此，人们也可以想象将CCD芯片置于物平面（样本平面）中。一个以10倍放大率将测试样本成像到芯片层面的显微物镜，原则上也会以1/10的放大率将芯片成像到测试样本层面。

什么是子像素处理？Subpixeling means, detection of edge position with higher reproductibility than ΔXm.亚像素意味着以比ΔXm更高的重现性检测边缘位置。 How does that work?这是怎么运作的？A condition is that the recognition of the edge position does not take place manually any longer via setting measuring points on the PC monitor.条件是，边缘位置的识别不再通过在电脑显示器上手动设置测量点来进行。The edge recognition is made on the basis of grey tone distributions by the regarded screen window. Thus this measuring procedure no more is suitable for all kinds by objects.边缘识别是基于所观察屏幕窗口的灰度色调分布进行的。因此，这种测量方法不再适用于所有类型的物体。It works however outstanding perfect for all linear expanded objects, thus e.g. for circuit paths on hoppers or structures on wafers and masks in semiconductor technology.然而，它对于所有线性扩展物体都表现出色且适用，例如半导体技术中的电路路径、料斗上的结构，以及晶圆和掩模上的构造。

由于芯片上的原始像素尺寸为6微米，因此在测试样本级别上每个像素的尺寸为0.6微米。