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桌面微型紫外光刻机

简要描述:桌面微型紫外光刻机,专为微米级图案制作而设计,旨在保障图形转移精度,其紧凑的体积将移形换影置于桌面之上,为操作提供了便利与精准。

  • 产品型号:GK100
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-06-13
  • 访  问  量:148

详细介绍

 桌面微型紫外光刻机

  1. 产品介绍
    桌面微型紫外光刻机,专为微米级图案制作而设计,旨在保障图形转移精度。设备采用紫外LED冷光源,结合双非球面石英透镜,可生成半角<2°的平行光,相较传统接触式曝光机,其紧凑的体积将移形换影置于桌面之上,为操作提供了便利与精准。
    该光刻机广泛适用于微流控芯片、MEMS器件、光电子器件以及声表面波器件等制备领域。其性能尤其适合高校、科研院所以及企业展开微细加工工艺研究。紧随现代技术的步伐,桌面微型光刻机的问世为微纳加工注入了新的活力,助力客户在项目目标的实现过程中迈向更高精度、更具创新性的阶段。

  2. 技术参数

    曝光光源:紫外LED;

        光源波长:365nm;

        曝光面积:4英寸、6英寸可选;

        曝光方式:单面接触式定时曝光;

        曝光分辨率:2um;

        曝光强度:30~120mW/cm²可调;

        曝光不均匀性:<5%;

        光源平行性:≤2°

        光源寿命:>20000h;

        电源输入:AC220V+10V,50HZ

    

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