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德国Diener等离子清洗机

简要描述:型号为Femto的德国Diener等离子清洗机可以组合成不同的派生型,例如组合成模块系统。下面是能够与 Femto 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。Femto 等离子系统主要应用于以下领域:
分析、考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、医疗技术、微系统技术、传感技术、灭菌、纺织技术

  • 产品型号:FEMTO
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2023-12-11
  • 访  问  量:327

详细介绍

型号为Femto的德国Diener等离子清洗机可以组合成不同的派生型,例如组合成模块系统。下面是能够与 Femto 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。型号为Femto的德国Diener等离子清洗机主要应用于以下领域:

分析、考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、医疗技术、微系统技术、传感技术、灭菌、纺织技术

1.基本装备

根据具体组件/选装件,外壳会有所不同

腔室容积:根据具体版本,分为 1.9 - 6

供电电源:台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位

2.真空腔室

圆形不锈钢,带盖(约 ∅ 100 mm,长 278 mm 或长 600 mm

矩形不锈钢,带铰链的门(约宽 103 x 285 x 103

矩形铝材,带铰链的门(约 ∅ 103 mm x 103 mm,长 280 mm 或长 600 mm

圆形石英玻璃 (UHP),配有盖子或者带铰链的门(约 ∅ 95 mm,长 280 mm 或长 600 mm

圆形硼硅玻璃 (UHP),配有盖子或者带铰链的门(约 ∅ 95 mm,长 280 mm 或长 600 mm

3.装载件:

产品支架(选项:水冷型)石英玻璃舟皿粉末转鼓 散装件转鼓 铝板不锈钢板硼硅玻璃石英玻璃

4.电机:单层或多层RIE

5.控制系统

半自动型

Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE)

Full PC 控制系统 (Windows 10 IoT)

6.压力测量:Pirani电容式压力计(适用于腐蚀性气体版本)

7.计时器:数字

8.发生器

频率:    

40 kHz:功率 0 - 100 W0 - 1000 W

100 kHz:功率 500 W

80 kHz:功率 1000 W

13.56 MHz: 功率 0 - 200 W

2.45 GHz:功率 0 - 100 W0 - 300 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

9.真空泵:不同规格,来自不同制造商(根据需要配备活性炭过滤器)

10.其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。




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