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美国Cargille光学浸入液 |
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美国Cargille激光液 |
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美国Cargille封片剂 |
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美国Cargille硼酸片 |
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美国Cargille显微镜浸油/香柏油 |
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美国Cargille折射率匹配液 |
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美国RTP系列的快速退火炉温度均匀度≤1%,处理的最大尺寸可以达到200mm,温度可以达到1200摄氏度,处理过程可以在真空环境或者惰性气体的环境中执行,做多可支持4~6路进气,可以用到的气体包含N2,O2,N2H2,Ar和H2。
- 处理时间:0.1秒至无限时间;
- 灯管数量及功率:13支,
- 腔体冷却:风冷方式;
- 衬底冷却:氮气吹扫;
- 工艺气路:MFC控制,最多6路 (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等);
应用领域:
快速热退火 (Rapid Thermal Annealing,RTA);
快速热氧化 (Rapid Thermal Oxidation,RTO);
快速热氮化 (Rapid Thermal Nitridation,RTN);
硅化 (Silicidation);
扩散 (Diffusion);
化合物半导体退火 (Compound Semiconductor Annealing);
离子注入后退火 (Implant Annealing);
电极合金化 (Contact Alloying);
晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);
产品相关关键字: 真空退火炉 快速退火炉 |