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当前位置:首页   >  产品中心  >  等离子清洗机  >  SCE射频等离子清洗系统  >  SCE1818Anatech等离子体表面处理机

Anatech等离子体表面处理机

简要描述:应用:
芯片封装,工业应用,医学应用等,是小尺寸实验室R&D 或小规模生产的理想选择。

  • 产品型号:SCE1818
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2017-09-23
  • 访  问  量:917

详细介绍

Anatech等离子体表面处理机表面处理工艺:

1、清洗

去除纳米级的残留物

加强打线键合前的粘着性

2、灭菌处理

去除表面残留微生物

3、表面刻蚀

例如PTFE表面刻蚀或者硅表面微结构

4、活化

渲染表面的亲水性或疏水性

键合和沉积前的表面预处理

5、聚合处理

沉积带官能分子团的聚合物

等离子活化表面

移植聚合物到活化后的材料表面

 Anatech等离子体表面处理机应用领域

REM TEM分析、考古学、小规模生产线

人造橡胶工业、塑料工业、汽车工业、纺织工业

半导体研发中心、半导体制造工厂

制药技术、传感技术

杀菌处理

技术参数:

型号(Modle)

SCE1018

SCE1414

SCE1818

SCE1840

SCE2424

SCE2440

SCE3030

腔室尺寸(HxDmm

直径254,深度457

356

457

直径457,深度1016

610

直径457,深度1016

762

腔体容积(L

23.2

45

95.6

166.7

227

296.4

442

腔体材质

铝质舱体

铝质舱体

铝质舱体

铝质舱体

铝质舱体

铝质舱体

铝质舱体

腔体形状

圆柱体

立方腔体

立方腔体

圆柱体

立方腔体

圆柱体

立方腔体

频率(MHz)

13.56

13.56

13.56

13.56

13.56

13.56

13.56

功率RF (W)

0~125

0~600

0~600

0~600

0~600

0~1000

0~1000

可选功率

RF(W)

300/1000

300/1000

1000

300/1000

1000

600

600

控制方式

手动

自动调谐

自动调谐

自动调谐

自动调谐

自动调谐

自动调谐

外形尺寸 HxD, mm

559 x 915 x 686

559 x 915 x 686

711 x1651 x 711

N/L

864x1829 x 813

N/L

915 x1829 x915

泵抽气速率

(立方英尺/min)

3.8CFM

23.3CFM

42.4CFM

42.4CFM

42.4CFM

66CFM

66CFM

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