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Harrick 气体流量控制器

简要描述:Harrick 气体流量控制器主要应用于处理气体的精密控制、在等离子清洗过程中气体流混合和真空舱内压力监控。

  • 产品型号:PDC-FMG-2
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2020-09-09
  • 访  问  量:1356

详细介绍

Harrick 气体流量控制器技术参数:

紧凑的台式设备、符合CE 安全标准

两个标准的气体流量计(0.104 scfh & 0.22 scfh)
真空压力传感器..............................热电偶真空计
压力表.............................................数字压力
压力范围..........................................1 -1999 毫托
气体通路..........................................可同时通2路气体
流量计1 ..........................................参考刻度值65mm(4~49 mL/min)
49 毫升/分钟的流量 大气(0 PSIG)*
流量计2 ...........................................参考刻度值65mm(10~104 mL/min)
104 毫升/分钟的流量 大气(0 PSIG)*
流量计精度....................................... 满刻度的± 2%
流量计工作压力/温度................ 200 PSIG / 250℉(121℃)
不锈钢气源输入接口......................... dia.6mm
不锈钢气源输出接口......................... dia.6mm
常用工作气体:空气、氧气、氩气、氮气或混合气体等

 

 

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