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当前位置:首页   >  产品中心  >  匀胶机/匀胶旋涂仪  >  650系列  >  WS-650HZ-23NPPBLaurell匀胶机650-23NPPB

Laurell匀胶机650-23NPPB

简要描述:Laurell匀胶机650-23NPPB系列特色:
◆ 科研制备理想的匀胶机;
◆ 匀胶机由NPP或Teflon材质构造;
◆ 匀胶机分为150毫米,200毫米和300毫米三种腔体大小;
◆ 匀胶机可选择台式,立式和特殊环境内置式不同外形;
◆ 匀胶机的Z大转速可达10000RPM;
◆ 易编程的数码控制器(400/500型控制器);
◆ 可升级成为自动滴胶型匀胶机;

  • 产品型号:WS-650HZ-23NPPB
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-08-02
  • 访  问  量:1312

详细介绍

Laurell匀胶机650-23NPPB系列(英文名:Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜
详细介绍:匀胶机(英文名:Spin Coater& Spin Processor)
行业俗称:匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、涂层机

Laurell匀胶机650-23NPPB适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。美国Laurell匀胶机具有稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的*性和均匀性,这正是650S 型匀胶机的特点。

二、匀胶机工作原理:

匀胶机(spin coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,甩胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

三、匀胶机主要性能指标:
1、腔体尺寸:9.5英寸 (241 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直径的材料,方片125x125mm,小于10mm提供3mm的转接托盘);
3、转动速度:0-12,000rpm,
4、旋涂加速度:0-12000rpm/sec;
5、马达旋涂转速:稳定性能误差 < ±1%;
6、转速调节精度:<1rpm,重复性< 0.2rpm;
7、工艺时间设定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度;
8、匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;
9、高精度数码控制器:PLC控制,设置点精度小于0.006%。
10、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态;
11、分辨率:分辨率小于1转/分,可重复性小于±1转/分,美国国家标准技术研究院(NIST)认证过的,并且无需再校准!]
12、配套真空泵系统:无油型 220~240伏交流,50/60赫兹;
13、配套分析软件:SPIN3000操作分析软件;
14、*水平测试仪;

可选配置:
IND构造为湿站系统设计,带远程控制;
OND构造为手套箱系统设计,带远程控制;
UD自动滴胶装置:UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒,
EBR(Edge Bead Remover):晶圆去边,机械装置;


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