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匀胶涂膜机ST20+

简要描述:匀胶涂膜机ST20+ 实验室台式匀胶机
是一款紧凑的旋涂,显影,清洁和干燥半自动系统,旨在为科学和研究领域的用户提供高效,安全和清洁的实验室系统。 该设备具有易于使用的界面和7英寸彩色触摸屏。 该软件包含程序菜单管理,例如编写,编辑,保存和加载。 服务区提供用于手臂和旋转板以及介质控制的设置选项。 还集成了可通过USB保存的软件更新功能以及日志文件和程序备份功能。

  • 产品型号:BASIXX ST20+
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2020-09-08
  • 访  问  量:654

详细介绍

匀胶涂膜机ST20+特点:

÷ 直驱无刷微调电机

÷ 全轴电机驱动且*可编程

÷ 具有程序菜单管理功能的软件控制

÷ 带安全中断传感器的透明盖

÷ 旋转器盖传感器控制

÷ 通过触摸屏或按钮启动程序

÷ 7英寸彩色触摸屏PP制成的处理碗和台式外壳

÷ 外壳上的电源开关ON / OFF

÷ 配备标准的水坑喷通过水坑喷嘴注入溶剂

÷ 可拆卸处理碗和飞溅环,便于清洁

÷ 可处理圆形晶片尺寸Ø200mm(Ø8英寸)

÷ 可处理方形基板尺寸大为150 x 150毫米(6 x 6英寸)

÷ 标配多安装3个介质管线/喷嘴(可选:多5个介质管线/喷嘴)

 

÷ 可视真空控制仪

÷ 真空阀块和传感器的安全性由程序启动和系统运行来控制

÷ 含0.5 Itr废液瓶

÷ 可选的带Z轴移动和PR分配系统的电动介质臂

÷ 可作为台式安装,也可做独立装置使用

÷ 简单且经济高效

÷ 专为研究所,实验室和基础研发而设计

 

应用:旋涂,显影,清洁和干燥

 

匀胶涂膜机ST20+产品参数:

可处理衬底尺寸:直径大为Ø200mm(Ø8英寸)圆片,或大为150 x 150毫米(6 x 6英寸)方片

旋转速度:10,000rpm *,(rpm步长为单位);

加速度:4.000 rpm / sec *;

处理时间:1至999,9sec,以0.1秒为步;

处理碗:可更换,聚丙烯(PP)材质

腔体:白色(PP)材质

固定晶圆片或衬底的装置:真空托盘;

电源:230(208)VAC / 1Phase/ N / PE / 50(60)Hz

真空:-0.8 bar / -600 Torr,管外直径6 mm

排气-过程:1x外径38毫米,约 30立方米/小时

氮气(可选):4土0.2 bar,PFA管外径6 mm

CDA(可选):8土2bar,管外径8mm。

 

选配

适用各种尺寸大小的托盘

分配臂

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