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晶圆切割机 |
匀胶涂膜机ST20+特点:
÷ 直驱无刷微调电机
÷ 全轴电机驱动且完全可编程
÷ 具有程序菜单管理功能的软件控制
÷ 带安全中断传感器的透明盖
÷ 旋转器盖传感器控制
÷ 通过触摸屏或按钮启动程序
÷ 7英寸彩色触摸屏PP制成的处理碗和台式外壳
÷ 外壳上的电源开关ON / OFF
÷ 配备标准的水坑喷嘴,通过水坑喷嘴注入溶剂
÷ 可拆卸处理碗和飞溅环,便于清洁
÷ 可处理圆形晶片,尺寸最大为Ø200mm(Ø8英寸)
÷ 可处理方形基板,尺寸最大为150 x 150毫米(6 x 6英寸)
÷ 标配最多安装3个介质管线/喷嘴(可选:最多5个介质管线/喷嘴)
÷ 可视真空控制仪
÷ 真空阀块和传感器的安全性由程序启动和系统运行来控制
÷ 含0.5 Itr的废液瓶
÷ 可选的带Z轴移动和PR分配系统的电动介质臂
÷ 可作为台式安装,也可做独立装置使用
÷ 简单且经济高效
÷ 专为研究所,实验室和基础研发而设计
应用于:旋涂,显影,清洁和干燥
匀胶涂膜机ST20+产品参数:
可处理衬底尺寸:直径最大为Ø200mm(Ø8英寸)圆片,或最大为150 x 150毫米(6 x 6英寸)方片;
旋转速度:10,000rpm *,(以rpm步长为单位);
加速度:4.000 rpm / sec *;
处理时间:1至999,9sec,以0.1秒为步;
处理碗:可更换,聚丙烯(PP)材质
腔体:白色(PP)材质
固定晶圆片或衬底的装置:真空托盘;
电源:230(208)VAC / 1Phase/ N / PE / 50(60)Hz
真空:-0.8 bar / -600 Torr,管外直径6 mm
排气-过程:1x外径38毫米,约 30立方米/小时
氮气(可选):4土0.2 bar,PFA管外径6 mm
CDA(可选):8土2bar,管外径8mm。
选配项:
适用各种尺寸大小的托盘
分配臂
泵
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